Tungsten hexafluoride (WF6) نىڭ ئىشلىتىلىشى

Tungsten hexafluoride (WF6) CVD جەريانى ئارقىلىق ۋافېرنىڭ يۈزىگە قويۇلۇپ ، مېتال ئۆز-ئارا ئۆستەڭنى تولدۇرۇپ ، قاتلاملار ئارا مېتال ئۆز-ئارا باغلىنىشنى شەكىللەندۈرىدۇ.

ئالدى بىلەن پلازما توغرىسىدا پاراڭلىشايلى.پلازما ئاساسلىقى ئەركىن ئېلېكترون ۋە زەرەتلەنگەن ئىئوندىن تەركىب تاپقان ماددىلارنىڭ بىر خىل شەكلى.ئۇ ئالەمدە كەڭ تارقالغان بولۇپ ، ھەمىشە ماددىنىڭ تۆتىنچى ھالىتى دەپ قارىلىدۇ.ئۇ پلازما ھالىتى دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، «پلازما» دەپمۇ ئاتىلىدۇ.پلازما ئېلېكتر ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى بولۇپ ، ئېلېكتر ماگنىت مەيدانى بىلەن كۈچلۈك تۇتاشتۇرۇش رولىغا ئىگە.ئۇ ئېلېكترون ، ئىئون ، ئەركىن رادىكال ، نېيترال زەررىچىلەر ۋە فوتوندىن تەركىب تاپقان قىسمەن ئىئونلانغان گاز.پلازما ئۆزى فىزىكىلىق ۋە خىمىيىلىك ئاكتىپ زەررىچىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئېلېكتر نېيترال ئارىلاشمىسى.

بىۋاسىتە چۈشەندۈرۈش شۇكى ، يۇقىرى ئېنېرگىيەنىڭ ھەرىكىتى ئاستىدا ، مولېكۇلا ۋان دېر ۋالس كۈچى ، خىمىيىلىك رىشتە كۈچى ۋە Coulomb كۈچى ئۈستىدىن غالىب كېلىپ ، بىر خىل بىتەرەپ ئېلېكتر ئېنېرگىيىسىنى ئوتتۇرىغا قويىدۇ.شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، سىرتتىن كەلگەن يۇقىرى ئېنېرگىيە يۇقارقى ئۈچ خىل كۈچنى يېڭىدۇ.فۇنكسىيە ، ئېلېكترون ۋە ئىئونلار ھەقسىز ھالەتنى ئوتتۇرىغا قويدى ، بۇ ماگنىت مەيدانىنىڭ مودۇلى ئاستىدا سۈنئىي ئۇسۇلدا ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، مەسىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يېيىش جەريانى ، CVD جەريانى ، PVD ۋە IMP جەريانى.

يۇقىرى ئېنېرگىيە دېگەن نېمە؟نەزەرىيە جەھەتتىن ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق RF نى ئىشلىتىشكە بولىدۇ.ئومۇمەن قىلىپ ئېيتقاندا ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىنى ئىشقا ئاشۇرۇش مۇمكىن ئەمەس.بۇ تېمپېراتۇرا تەلىپى بەك يۇقىرى بولۇپ ، قۇياشنىڭ تېمپېراتۇرىسىغا يېقىنلىشىشى مۇمكىن.بۇ جەرياندا ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئاساسەن مۇمكىن ئەمەس.شۇڭلاشقا ، كەسىپ ئادەتتە ئۇنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئۈچۈن يۇقىرى چاستوتىلىق RF ئىشلىتىدۇ.پلازما RF ئەڭ يۇقىرى بولغاندا 13MHz + غا يېتىدۇ.

تۇڭستېن ئالتە ئوكسىدلىق ئېلېكتر مەيدانىنىڭ ھەرىكىتىدە پىلازما بولىدۇ ، ئاندىن ماگنىت مەيدانى تەرىپىدىن پارغا ئايلىنىدۇ.W ئاتوملىرى قىشتىكى غاز پەيلىرىگە ئوخشايدۇ ھەمدە تارتىش كۈچىنىڭ تەسىرىدە يەرگە يىقىلىدۇ.ئاستا-ئاستا W ئاتوملىرى تۆشۈك ئارقىلىق تۆكۈلۈپ ، ئاخىرىدا تۆشۈك ئارقىلىق تولدۇرۇلۇپ مېتال ئۆز-ئارا باغلىنىش ھاسىل بولىدۇ.ئۇلار W ئاتوملىرىنى ئۆڭكۈرگە قويغاندىن باشقا ، ئۇلار يەنە Wafer نىڭ يۈزىگە قويۇلامدۇ؟ھەئە ، ئەلۋەتتە.ئومۇمەن قىلىپ ئېيتقاندا ، سىز W-CMP جەريانىنى ئىشلىتەلەيسىز ، بۇ بىز مېخانىكىلىق ئۇۋىلاش جەريانىنى ئېلىۋېتىمىز.ئۇ سۈپۈرگە ئىشلىتىپ قاتتىق قاردىن كېيىن يەرنى سۈپۈرگەنگە ئوخشايدۇ.يەردىكى قار سۈپۈرۈلۈپ كەتتى ، ئەمما يەردىكى تۆشۈكتىكى قار قالىدۇ.تۆۋەن ، ئاساسەن ئوخشاش.


يوللانغان ۋاقتى: 24-دېكابىردىن 20-دېكابىرغىچە