Tungsten hexafluoride (WF6) CVD جەريانى ئارقىلىق ۋافېرنىڭ يۈزىگە قويۇلۇپ ، مېتال ئۆز-ئارا ئۆستەڭنى تولدۇرۇپ ، قاتلاملار ئارا مېتال ئۆز-ئارا باغلىنىشنى شەكىللەندۈرىدۇ.
ئالدى بىلەن پلازما توغرىسىدا پاراڭلىشايلى. پلازما ئاساسلىقى ئەركىن ئېلېكترون ۋە زەرەتلەنگەن ئىئوندىن تەركىب تاپقان ماددىلارنىڭ بىر خىل شەكلى. ئۇ ئالەمدە كەڭ تارقالغان بولۇپ ، ھەمىشە ماددىنىڭ تۆتىنچى ھالىتى دەپ قارىلىدۇ. ئۇ پلازما ھالىتى دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، «پلازما» دەپمۇ ئاتىلىدۇ. پلازما ئېلېكتر ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى بولۇپ ، ئېلېكتر ماگنىت مەيدانى بىلەن كۈچلۈك تۇتاشتۇرۇش رولىغا ئىگە. ئۇ ئېلېكترون ، ئىئون ، ئەركىن رادىكال ، نېيترال زەررىچىلەر ۋە فوتوندىن تەركىب تاپقان قىسمەن ئىئونلانغان گاز. پلازما ئۆزى فىزىكىلىق ۋە خىمىيىلىك ئاكتىپ زەررىچىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئېلېكتر نېيترال ئارىلاشمىسى.
بىۋاسىتە چۈشەندۈرۈش شۇكى ، يۇقىرى ئېنېرگىيەنىڭ ھەرىكىتى ئاستىدا ، مولېكۇلا ۋان دېر ۋالس كۈچى ، خىمىيىلىك باغلىنىش كۈچى ۋە Coulomb كۈچى ئۈستىدىن غالىب كېلىپ ، بىر خىل بىتەرەپ ئېلېكتر ئېنېرگىيىسىنى ئوتتۇرىغا قويىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، سىرتتىن كەلگەن يۇقىرى ئېنېرگىيە يۇقارقى ئۈچ خىل كۈچنى يېڭىدۇ. فۇنكسىيە ، ئېلېكترون ۋە ئىئونلار ئەركىن ھالەتنى ئوتتۇرىغا قويدى ، بۇ ماگنىت مەيدانىنىڭ مودۇلى ئاستىدا سۈنئىي ئۇسۇلدا ئىشلىتىشكە بولىدۇ ، مەسىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يېيىش جەريانى ، CVD جەريانى ، PVD ۋە IMP جەريانى.
يۇقىرى ئېنېرگىيە دېگەن نېمە؟ نەزەرىيە جەھەتتىن ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق RF نى ئىشلىتىشكە بولىدۇ. ئومۇمەن قىلىپ ئېيتقاندا ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىنى ئىشقا ئاشۇرۇش مۇمكىن ئەمەس. بۇ تېمپېراتۇرا تەلىپى بەك يۇقىرى بولۇپ ، قۇياشنىڭ تېمپېراتۇرىسىغا يېقىنلىشىشى مۇمكىن. بۇ جەرياندا ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئاساسەن مۇمكىن ئەمەس. شۇڭلاشقا ، كەسىپ ئادەتتە ئۇنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئۈچۈن يۇقىرى چاستوتىلىق RF ئىشلىتىدۇ. پلازما RF ئەڭ يۇقىرى بولغاندا 13MHz + غا يېتىدۇ.
تۇڭستېن ئالتە ئوكسىدلىق ئېلېكتر مەيدانىنىڭ ھەرىكىتى ئاستىدا پىلازما بولىدۇ ، ئاندىن ماگنىت مەيدانى تەرىپىدىن پارغا ئايلىنىدۇ. W ئاتوملىرى قىشتىكى غاز پەيلىرىگە ئوخشايدۇ ھەمدە تارتىش كۈچىنىڭ تەسىرىدە يەرگە يىقىلىدۇ. ئاستا-ئاستا W ئاتوملىرى تۆشۈك ئارقىلىق تۆكۈلۈپ ، ئاخىرىدا تۆشۈك ئارقىلىق تولدۇرۇلۇپ مېتال ئۆز-ئارا باغلىنىش ھاسىل بولىدۇ. ئۇلار W ئاتوملىرىنى ئۆڭكۈرگە قويغاندىن باشقا ، ئۇلار يەنە Wafer نىڭ يۈزىگە قويۇلامدۇ؟ ھەئە ، ئەلۋەتتە. ئومۇمەن قىلىپ ئېيتقاندا ، سىز W-CMP جەريانىنى ئىشلىتەلەيسىز ، بۇ بىز مېخانىكىلىق ئۇۋىلاش جەريانىنى ئېلىۋېتىمىز. ئۇ سۈپۈرگە ئىشلىتىپ قاتتىق قاردىن كېيىن يەرنى سۈپۈرگەنگە ئوخشايدۇ. يەردىكى قار سۈپۈرۈلۈپ كەتتى ، ئەمما يەردىكى تۆشۈكتىكى قار قالىدۇ. تۆۋەن ، ئاساسەن ئوخشاش.
يوللانغان ۋاقتى: 24-دېكابىردىن 20-دېكابىرغىچە
