ۋولفرام گېكساسفتورىد (WF6) CVD ئۇسۇلى ئارقىلىق لېنتىنىڭ يۈزىگە چۆكۈپ، مېتال ئۇلىنىش ئۆستەڭلىرىنى تولدۇرۇپ، قەۋەتلەر ئارىسىدىكى مېتال ئۇلىنىشىنى شەكىللەندۈرىدۇ.
ئالدى بىلەن پلازما ھەققىدە سۆزلەيلى. پلازما ئاساسلىقى ئەركىن ئېلېكترون ۋە زەرەتلىك ئىئونلاردىن تەركىب تاپقان بىر خىل ماددا. ئۇ ئالەمدە كەڭ تارقالغان بولۇپ، كۆپىنچە ماددىنىڭ تۆتىنچى ھالىتى دەپ قارىلىدۇ. ئۇ پلازما ھالىتى، يەنى «پلازما» دەپمۇ ئاتىلىدۇ. پلازما يۇقىرى ئېلېكتر ئۆتكۈزۈشچانلىقىغا ئىگە بولۇپ، ئېلېكترو ماگنىت مەيدانى بىلەن كۈچلۈك باغلىنىش ئۈنۈمىگە ئىگە. ئۇ ئېلېكترون، ئىئون، ئەركىن رادىكال، نېيترال زەررىچىلەر ۋە فوتونلاردىن تەركىب تاپقان قىسمەن ئىئونلاشقان گاز. پلازما ئۆزى فىزىكىلىق ۋە خىمىيىلىك جەھەتتىن ئاكتىپ زەررىچىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئېلېكتر نېيترال ئارىلاشما.
بۇنىڭ ئاددىي چۈشەندۈرۈشى شۇكى، يۇقىرى ئېنېرگىيە تەسىرى ئاستىدا، مولېكۇلا ۋان دېر ۋائالس كۈچى، خىمىيىلىك باغلىنىش كۈچى ۋە كولومب كۈچىدىن ئېشىپ، بىر پۈتۈنلۈكتە نېيترال ئېلېكتر شەكلىنى نامايان قىلىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، سىرتتىن كەلگەن يۇقىرى ئېنېرگىيە يۇقىرىقى ئۈچ كۈچنى يېڭىدۇ. فۇنكسىيە، ئېلېكترون ۋە ئىئونلار ئەركىن ھالەتنى نامايان قىلىدۇ، بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئويۇش جەريانى، CVD جەريانى، PVD ۋە IMP جەريانى قاتارلىق ماگنىت مەيدانىنىڭ مودۇلياتسىيەسى ئاستىدا سۈنئىي ئىشلىتىلىشى مۇمكىن.
يۇقىرى ئېنېرگىيە دېگەن نېمە؟ نەزەرىيە جەھەتتىن ئېيتقاندا، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق رادىئو چاستوتىسىنىڭ ھەر ئىككىسىنى ئىشلىتىشكە بولىدۇ. ئادەتتە، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا يېتىش مۇمكىن ئەمەس. بۇ تېمپېراتۇرا تەلىپى بەك يۇقىرى بولۇپ، قۇياشنىڭ تېمپېراتۇرىسىغا يېقىن بولۇشى مۇمكىن. بۇ جەرياندا ئاساسەن ئەمەلگە ئاشۇرۇش مۇمكىن ئەمەس. شۇڭا، سانائەت ئادەتتە يۇقىرى چاستوتىلىق رادىئو چاستوتىسىنى ئىشلىتىدۇ. پلازما رادىئو چاستوتىسى 13MHz+ غىچە يېتىشى مۇمكىن.
ۋولفرام گېكسافتورىد ئېلېكتر مەيدانىنىڭ تەسىرىدە پلازما ھالىتىگە كەلتۈرۈلىدۇ، ئاندىن ماگنىت مەيدانى تەرىپىدىن پارغا ئايلاندۇرۇلىدۇ. W ئاتوملىرى قىشلىق غاز پەيلىرىگە ئوخشايدۇ ۋە تارتىش كۈچىنىڭ تەسىرىدە يەرگە چۈشۈپ كېتىدۇ. W ئاتوملىرى ئاستا-ئاستا تۆشۈكلەرگە قويۇلىدۇ، ئاخىرىدا مېتال ئۇلىنىشىنى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن تولۇق تۆشۈكلەرگە تولدۇرۇلىدۇ. تۆشۈكلەرگە W ئاتوملىرىنى قويۇشتىن باشقا، ئۇلار ۋافېرنىڭ يۈزىگىمۇ قويۇلىدۇ؟ شۇنداق، ئەلۋەتتە. ئادەتتە، سىز W-CMP جەريانىنى ئىشلەتسىڭىز بولىدۇ، بۇ بىز مېخانىكىلىق ئۇۋىلاش جەريانى دەپ ئاتايمىز. بۇ قېلىن قار ياغقاندىن كېيىن يەر يۈزىنى سۈپۈرۈش ئۈچۈن سۈپۈرگە ئىشلەتكەنگە ئوخشايدۇ. يەردىكى قار سۈپۈرۈلىدۇ، ئەمما يەردىكى تۆشۈكتىكى قار قالىدۇ. تۆۋەنگە قاراپ، ئاساسەن ئوخشاش.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2021-يىلى 12-ئاينىڭ 24-كۈنى
