قۇرۇتۇش تېخنىكىسى ئاچقۇچلۇق جەريانلارنىڭ بىرى. قۇرۇتۇش گازى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇھىم ماتېرىيال ۋە پلازما كېسىشنىڭ مۇھىم گاز مەنبەسى. ئۇنىڭ ئىقتىدارى ئاخىرقى مەھسۇلاتنىڭ سۈپىتى ۋە ئىقتىدارىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. بۇ ماقالە ئاساسلىقى قۇرۇتۇش جەريانىدا كۆپ ئىشلىتىلىدىغان قىچىشما گازلار بىلەن ئورتاقلىشىدۇ.
فتورنى ئاساس قىلغان گازلار: مەسىلەنكاربون تېترافلورىد (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) and perfluoropropane (C3F8). بۇ گازلار كرېمنىي ۋە كرېمنىي بىرىكمىلىرىنى قىسىپ ئۈنۈملۈك تەۋرىنىشچان فتور ھاسىل قىلالايدۇ ، بۇ ئارقىلىق ماتېرىيال ئېلىۋېتىلىدۇ.
خلورنى ئاساس قىلغان گازلار: مەسىلەن خلور (Cl2) ،boron trichloride (BCl3)ۋە كرېمنىي تېتراخلورىد (SiCl4). خلورنى ئاساس قىلغان گازلار قىچىشىش جەريانىدا خلور ئىئونى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بۇ قېتىشىش نىسبىتى ۋە تاللاشچانلىقىنى ئاشۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ.
برومنى ئاساس قىلغان گازلار: مەسىلەن ، بروم (Br2) ۋە بروم يود (IBr). برومنى ئاساس قىلغان گازلار بەزى قىرىش جەريانىدا تېخىمۇ ياخشى قىرىش ئۈنۈمى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بولۇپمۇ كرېمنىي كاربون قاتارلىق قاتتىق ماتېرىياللارنى قىسىپ.
ئازوتنى ئاساس قىلغان ۋە ئوكسىگېننى ئاساس قىلغان گازلار: مەسىلەن ئازوت ترىفلورىد (NF3) ۋە ئوكسىگېن (O2). بۇ گازلار ئادەتتە چاتاش جەريانىدىكى ئىنكاس شارائىتىنى تەڭشەش ئۈچۈن ، چىش مىلىكىنىڭ تاللاشچانلىقى ۋە يۆنىلىشىنى ياخشىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ.
بۇ گازلار پلازما قىچىش جەريانىدا فىزىكىلىق داغلاش ۋە خىمىيىلىك رېئاكسىيەلەرنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق ماتېرىيال يۈزىنىڭ ئېنىق قېتىشىشىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ. يېقىلغۇ گازىنى تاللاش كېرەكلىك ماتېرىيالنىڭ تۈرى ، چاتاشنىڭ تاللاش تەلىپى ۋە كۆزلىگەن ئېتىلىش نىسبىتىگە باغلىق.
يوللانغان ۋاقتى: 2-ئاينىڭ 08-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە
