قۇرۇق ئويۇش تېخنىكىسى مۇھىم جەريانلارنىڭ بىرى. قۇرۇق ئويۇش گازى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇھىم ماتېرىيال ۋە پلازما ئويۇشنىڭ مۇھىم گاز مەنبەسى. ئۇنىڭ ئىقتىدارى ئاخىرقى مەھسۇلاتنىڭ سۈپىتى ۋە ئىقتىدارىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. بۇ ماقالىدە ئاساسلىقى قۇرۇق ئويۇش جەريانىدا كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ئويۇش گازلىرى ئورتاقلىشىلىدۇ.
فتور ئاساسلىق گازلار: مەسىلەنكاربون تېترافتورىد (CF4)، گېكساسفلوروئېتان (C2F6)، ترىفلورومېتان (CHF3) ۋە پېرفلوروپروپان (C3F8). بۇ گازلار كرېمنىي ۋە كرېمنىي بىرىكمىلىرىنى ئويغاندا ئۈنۈملۈك ھالدا ئۇچۇچان فتور ھاسىل قىلىپ، شۇ ئارقىلىق ماتېرىياللارنى چىقىرىۋېتىشكە ياردەم بېرەلەيدۇ.
خلور ئاساسلىق گازلار: مەسىلەن، خلور (Cl2)،بور ترىخلورىد (BCl3)ۋە كرېمنىي تېتراخلورىد (SiCl4). خلور ئاساسلىق گازلار ئويۇش جەريانىدا خلور ئىئونلىرىنى تەمىنلىيەلەيدۇ، بۇ ئويۇش سۈرئىتى ۋە تاللاشچانلىقىنى ياخشىلاشقا ياردەم بېرىدۇ.
بروم ئاساسلىق گازلار: مەسىلەن، بروم (Br2) ۋە بروم يودىد (IBr). بروم ئاساسلىق گازلار بەزى ئويۇش جەريانلىرىدا، بولۇپمۇ كرېمنىي كاربىد قاتارلىق قاتتىق ماتېرىياللارنى ئويۇش جەريانىدا تېخىمۇ ياخشى ئويۇش ئۈنۈمى بىلەن تەمىنلەيدۇ.
ئازوت ئاساسلىق ۋە ئوكسىگېن ئاساسلىق گازلار: مەسىلەن، ئازوت ترىفتورىد (NF3) ۋە ئوكسىگېن (O2). بۇ گازلار ئادەتتە ئويۇش جەريانىدىكى رېئاكسىيە شارائىتىنى تەڭشەش ئۈچۈن، ئويۇشنىڭ تاللاشچانلىقى ۋە يۆنىلىشىنى ياخشىلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.
بۇ گازلار پلازما ئويۇش جەريانىدا فىزىكىلىق پۈركۈش ۋە خىمىيىلىك رېئاكسىيەلەرنىڭ بىرلىشىشى ئارقىلىق ماتېرىيال يۈزىنىڭ ئېنىق ئويۇلۇشىغا ئېرىشىدۇ. ئويۇش گازىنى تاللاش ئويۇش قىلىنىدىغان ماتېرىيالنىڭ تۈرىگە، ئويۇشنىڭ تاللاشچانلىق تەلىپىگە ۋە ئارزۇ قىلىنغان ئويۇش سۈرئىتىگە باغلىق.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 2-ئاينىڭ 8-كۈنى
