ئېلېكترونلۇقئالاھىدە گازلارئالاھىدە گازلارنىڭ مۇھىم تارمىقى. ئۇلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ھەممە ھالقىلىرىغا دېگۈدەك سىڭىپ كىرىدۇ ھەمدە دەرىجىدىن تاشقىرى چوڭ تىپتىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ، تەكشى تاختاي كۆرسىتىش ئۈسكۈنىسى ۋە قۇياش ئېنېرگىيىسى ھۈجەيرىسى قاتارلىق ئېلېكترونلۇق كەسىپلەرنى ئىشلەپچىقىرىشتا كەم بولسا بولمايدىغان خام ئەشيا.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىدا فتور بار گازلار كەڭ قوللىنىلىدۇ. ھازىر دۇنيا ئېلېكترونلۇق گاز بازىرىدا فتور بار ئېلېكترونلۇق گاز ئومۇمىي مىقدارىنىڭ% 30 نى ئىگىلىدى. تەركىبىدە فتور بار ئېلېكترونلۇق گاز ئېلېكترونلۇق ئۇچۇر ماتېرىياللىرى ساھەسىدىكى ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گازنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى. ئۇلار ئاساسلىقى تازىلاش دورىسى ۋە قىچىشتۇرۇش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، شۇنداقلا دوپپا ، فىلىم ھاسىل قىلىدىغان ماتېرىيال قاتارلىقلاردىمۇ ئىشلىتىلىدۇ ، بۇ ماقالىدە ئاپتور سىزنى كۆپ مىقداردا فتور بار گازلارنى چۈشىنىشكە ئېلىپ بارىدۇ.

تۆۋەندە ئادەتتە فتور بار گازلار ئىشلىتىلىدۇ

ئازوت ترىفلورىد (NF3): تاشلاندۇقلارنى تازىلاش ۋە چىقىرىۋېتىشكە ئىشلىتىلىدىغان گاز ، ئادەتتە رېئاكسىيە ئۆيى ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ يۈزىنى تازىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ.

گۈڭگۈرت ئالتە ئوكسىد (SF6): ئوكسىد چۆكۈش جەريانىدا ۋە ئىزولياتور مېدىياسىنى تولدۇرىدىغان ئىزولياتور گازى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدىغان فتورلۇق دورا.

ھىدروگېن فتور (HF): كرېمنىي يۈزىدىكى ئوكسىدلارنى چىقىرىۋېتىش ۋە كرېمنىي ۋە باشقا ماتېرىياللارنى يېپىشتۇرۇش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ.

ئازوت فتور (NF): كرېمنىي نىترىد (SiN) ۋە ئاليۇمىن نىترىد (AlN) قاتارلىق ماتېرىياللارغا ئىشلىتىلىدۇ.

Trifluoromethane (CHF3) andtetrafluoromethane (CF4): كرېمنىي فتور ۋە ئاليۇمىن فتور قاتارلىق فتورلۇق ماتېرىياللارنى ياساشقا ئىشلىتىلىدۇ.

قانداقلا بولمىسۇن ، تەركىبىدە فتور بار گازلارنىڭ زەھەرلىكلىكى ، چىرىشچانلىقى ۋە ئاسان يانىدىغانلىقى بار.

زەھەرلىك

تەركىبىدە فتور بار گازلار زەھەرلىك ، مەسىلەن ھىدروگېن فتور (HF) ، ئۇلارنىڭ ھورلىرى تېرە ۋە نەپەس يولىغا بولغان غىدىقلىغۇچى ۋە ئىنسانلارنىڭ سالامەتلىكىگە زىيانلىق.

چىرىش

ھىدروگېن فتور ۋە بەزى فتورلارنىڭ چىرىتىشچانلىقى يۇقىرى بولۇپ ، تېرە ، كۆز ۋە نەپەس يولىغا ئېغىر زىيان سالىدۇ.

Flammability

بەزى فتورلار ئاسان يانىدىغان بولۇپ ، ھاۋادىكى ئوكسىگېن ياكى سۇ بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، كۈچلۈك ئىسسىقلىق ۋە زەھەرلىك گاز قويۇپ بېرىدۇ ، بۇ ئوت ياكى پارتىلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

يۇقىرى بېسىملىق خەتەر

بەزى فتورلۇق گازلار يۇقىرى بېسىمدا پارتىلاتقۇچ دورا بولۇپ ، ئىشلەتكەندە ۋە ساقلىغاندا ئالاھىدە دىققەت قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.

مۇھىتقا بولغان تەسىرى

تەركىبىدە فتور بار گازلارنىڭ ئاتموسفېرانىڭ ئۆمرى ۋە GWP قىممىتى يۇقىرى بولۇپ ، ئاتموسفېرا ئوزون قەۋىتىگە بۇزغۇنچىلىق قىلىدۇ ھەمدە يەر شارىنىڭ ئىسسىپ كېتىشى ۋە مۇھىتنىڭ بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

ئېلېكترون قاتارلىق يېڭىدىن گۈللىنىۋاتقان ساھەلەردە گازنىڭ ئىشلىتىلىشى داۋاملىق چوڭقۇرلىشىپ ، سانائەت گازىغا نۇرغۇن يېڭى ئېھتىياج ئېلىپ كەلدى. كەلگۈسى بىر نەچچە يىلدا جۇڭگو چوڭ قۇرۇقلۇقىدىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە كۆرسىتىش تاختىسى قاتارلىق ئاساسلىق ئېلېكترونلۇق زاپچاسلارنىڭ زور مىقداردىكى يېڭى ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى ، شۇنداقلا ئېلېكترونلۇق خىمىيىلىك ماتېرىياللارنىڭ ئىمپورتقا بولغان كۈچلۈك ئېھتىياجىغا ئاساسەن ، دۆلەت ئىچىدىكى ئېلېكترون تەبىئىي گاز سانائىتى بارلىققا كېلىدۇ. يۇقىرى ئېشىش سۈرئىتى.