ئېلېكترونلۇقئالاھىدە گازلارئالاھىدە گازلارنىڭ مۇھىم بىر تارمىقى. ئۇلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ دېگۈدەك ھەر بىر ھالقىسىغا سىڭىپ كىرىدۇ ھەمدە ئىنتايىن چوڭ تىپتىكى بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى، ياپىلاق ئېكران ئۈسكۈنىلىرى ۋە قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەسى قاتارلىق ئېلېكترون سانائىتىنى ئىشلەپچىقىرىشتا مۇھىم خام ئەشيا ھېسابلىنىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىدا، فتور تەركىبىدىكى گازلار كەڭ قوللىنىلىدۇ. ھازىر، دۇنياۋى ئېلېكترونلۇق گاز بازىرىدا، فتور تەركىبىدىكى ئېلېكترونلۇق گازلار ئومۇمىي مىقدارنىڭ تەخمىنەن %30 نى ئىگىلەيدۇ. فتور تەركىبىدىكى ئېلېكترونلۇق گازلار ئېلېكترونلۇق ئۇچۇر ماتېرىياللىرى ساھەسىدىكى ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گازلارنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى. ئۇلار ئاساسلىقى تازىلاش ۋە ئويۇش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ، شۇنداقلا قوشۇمچە ماددىلار، پىلاستىنكا شەكىللەندۈرۈش ماتېرىياللىرى قاتارلىقلار سۈپىتىدە ئىشلىتىلىشى مۇمكىن. بۇ ماقالىدە، ئاپتور سىزنى كۆپ ئۇچرايدىغان فتور تەركىبىدىكى گازلارنى چۈشىنىشكە يېتەكلەيدۇ.

تۆۋەندىكىلەر كۆپ ئىشلىتىلىدىغان فتور تەركىبلىك گازلار

ئازوت ترىفتورىد (NF3): قالدۇق ماددىلارنى تازىلاش ۋە چىقىرىۋېتىشتە ئىشلىتىلىدىغان گاز بولۇپ، ئادەتتە رېئاكسىيە كامېراسى ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ يۈزىنى تازىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ.

كۈكىرت گېكسافتورىد (SF6)ئوكسىد چۆكتۈرۈش جەريانلىرىدا ۋە ئىزولياتسىيەلىك ماددىلارنى تولدۇرۇش ئۈچۈن ئىزولياتسىيەلىك گاز سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدىغان فتورلاشتۇرغۇچى ماددا.

ھىدروگېن فتور (HF): كرېمنىي يۈزىدىكى ئوكسىدلارنى چىقىرىۋېتىش ۋە كرېمنىي ۋە باشقا ماتېرىياللارنى ئويۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.

ئازوت فتورىد (NF): كرېمنىي نىترىد (SiN) ۋە ئاليۇمىن نىترىد (AlN) قاتارلىق ماتېرىياللارنى ئويۇپ ياساشقا ئىشلىتىلىدۇ.

تىرىفلورومېتان (CHF3) ۋەتېترافلورومېتان (CF4): كرېمنىي فتورىد ۋە ئاليۇمىن فتورىد قاتارلىق فتور ماتېرىياللىرىنى كۆيدۈرۈشكە ئىشلىتىلىدۇ.

قانداقلا بولمىسۇن، فتور تەركىبلىك گازلارنىڭ زەھەرلىكلىك، چىرىشچانلىق ۋە ئوت ئېلىشچانلىق قاتارلىق بەلگىلىك خەۋپلىرى بار.

زەھەرلىكلىك

بەزى فتور تەركىبلىك گازلار زەھەرلىك، مەسىلەن، ھىدروگېن فتور (HF)، ئۇنىڭ پارى تېرە ۋە نەپەس يولىنى قاتتىق غىدىقلايدۇ ھەمدە ئىنسانلارنىڭ سالامەتلىكىگە زىيانلىق.

چىرىشچانلىقى

ھىدروگېن فتور ۋە بەزى فتورلار يۇقىرى دەرىجىدە چىرىتىش كۈچىگە ئىگە بولۇپ، تېرىگە، كۆزگە ۋە نەپەس يولىغا ئېغىر زىيان سالىدۇ.

ئوت ئالدۇرۇشچانلىقى

بەزى فتورلار ئاسان ئوت ئالىدىغان بولۇپ، ھاۋادىكى ئوكسىگېن ياكى سۇ بىلەن رېئاكسىيەگە كىرىپ، كۈچلۈك ئىسسىقلىق ۋە زەھەرلىك گازلارنى قويۇپ بېرىدۇ، بۇ ئوت ئاپىتى ياكى پارتلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

يۇقىرى بېسىملىق خەۋپ

بەزى فتور قوشۇلغان گازلار يۇقىرى بېسىم ئاستىدا پارتلاش خاراكتېرلىك بولۇپ، ئىشلىتىلگەن ۋە ساقلانغاندا ئالاھىدە ئېھتىياتچانلىقنى تەلەپ قىلىدۇ.

مۇھىتقا بولغان تەسىرى

فتور تەركىبلىك گازلارنىڭ ئاتموسفېرا ئۆمرى ۋە GWP قىممىتى يۇقىرى بولۇپ، ئاتموسفېرا ئوزون قەۋىتىگە بۇزغۇنچىلىق تەسىر كۆرسىتىدۇ ھەمدە يەر شارىنىڭ ئىسسىپ كېتىشى ۋە مۇھىت بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

ئېلېكترون قاتارلىق يېڭىدىن گۈللىنىۋاتقان ساھەلەردە گازنىڭ قوللىنىلىشى داۋاملىق چوڭقۇرلىشىۋاتىدۇ، بۇ سانائەت گازلىرىغا بولغان يېڭى ئېھتىياجنى زور دەرىجىدە ئاشۇردى. كېيىنكى بىر قانچە يىلدا جۇڭگو چوڭ قۇرۇقلۇقىدا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە كۆرسىتىش تاختىسى قاتارلىق ئاساسلىق ئېلېكترون زاپچاسلىرىنىڭ كۆپ مىقداردا يېڭى ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارىنىڭ ئېشىشى، شۇنداقلا ئېلېكترونلۇق خىمىيىلىك ماتېرىياللارنىڭ ئىمپورت ئورنىنى ئېلىش ئېھتىياجىنىڭ كۈچلۈك بولۇشىغا ئاساسەن، دۆلەت ئىچىدىكى ئېلېكترونلۇق گاز كەسپى يۇقىرى ئېشىش سۈرئىتىنى قولغا كەلتۈرىدۇ.