كۆپ ئۇچرايدىغان فتور بار ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گازلار بارگۈڭگۈرت ئالتە ئوكسىد (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),كاربون تېترافلورىد (CF4)، ترىفلوئورومېتان (CHF3) ، ئازوت ترىفلورىد (NF3) ، ئالېكسافلوئورېتان (C2F6) ۋە ئوكتافلوئوروپروپان (C3F8).
نانو تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىي قىلىشى ۋە ئېلېكترون سانائىتىنىڭ كەڭ كۆلەمدە تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، ئۇنىڭ ئېھتىياجى كۈندىن-كۈنگە ئاشىدۇ. ئازوت ترىفلورىد تاختاي ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەم بولسا بولمايدىغان ۋە ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گاز بولۇش سۈپىتى بىلەن ، كەڭ بازار بوشلۇقىغا ئىگە.
تەركىبىدە فتور بار ئالاھىدە گاز بولۇش سۈپىتى بىلەن ،ئازوت ترىفلورىد (NF3)بازار سىغىمى ئەڭ چوڭ ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە تەبىئىي گاز مەھسۇلاتى. ئۇ ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا خىمىيىلىك ھالدا ئىنېرتسىيىلىك بولۇپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئوكسىگېنغا قارىغاندا تېخىمۇ ئاكتىپ ، فتورغا قارىغاندا تېخىمۇ مۇقىم ، بىر تەرەپ قىلىش ئاسان. ئازوت ترىفلورىد ئاساسلىقى پلازما قىرىش گازى ۋە رېئاكسىيە ئۆيىنى تازىلاش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، ئۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزەك ، تەكشى تاختاي كۆرسىتىش ، ئوپتىك تالا ، يورۇقلۇق ۋولت ھۈجەيرىسى قاتارلىقلارنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ساھەلىرىگە ماس كېلىدۇ.
تەركىبىدە باشقا فتور بار ئېلېكترونلۇق گازلار بىلەن سېلىشتۇرغاندا ،ئازوت ترىفلورىدتېز ئىنكاس قايتۇرۇش ۋە يۇقىرى ئۈنۈمگە ئىگە. بولۇپمۇ كرېمنىيلىق نىترىد قاتارلىق كرېمنىي بار ماتېرىياللارنىڭ قېتىشىدا ، ئۇنىڭ قېتىشىش نىسبىتى ۋە تاللاشچانلىقى يۇقىرى بولۇپ ، ئورالغان جىسىمنىڭ يۈزىدە قالدۇق قالمايدۇ. ئۇ يەنە ناھايىتى ياخشى تازىلاش دورىسى بولۇپ ، يەر يۈزىدە بۇلغىنىش يوق ، ئۇ بىر تەرەپ قىلىش جەريانىنىڭ ئېھتىياجىنى قاندۇرالايدۇ.
يوللانغان ۋاقىت: 9-ئاينىڭ 14-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە
