ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز – ئازوت ترىفتورىد

كۆپ ئۇچرايدىغان فتور تەركىبلىك ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گازلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇكۈكۈرت گېكساسفتورىد (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),كاربون تېترافتورىد (CF4)، ترىفلورومېتان (CHF3)، ئازوت ترىفلورىد (NF3)، گېكساسفلوروئېتان (C2F6) ۋە ئوكتافلوروپروپان (C3F8).

نانوتېخنىكىنىڭ تەرەققىياتى ۋە ئېلېكترون سانائىتىنىڭ كەڭ كۆلەمدە تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ، ئۇنىڭغا بولغان ئېھتىياج كۈندىن-كۈنگە ئاشىدۇ. ئازوت ترىفتورىد، تاختا ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەم بولسا بولمايدىغان ۋە ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گاز بولۇش سۈپىتى بىلەن، كەڭ بازار بوشلۇقىغا ئىگە.

فتور تەركىبلىك ئالاھىدە گازنىڭ بىر تۈرى سۈپىتىدە،ئازوت ترىفتورىد (NF3)بازار سىغىمى ئەڭ چوڭ بولغان ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز مەھسۇلاتى. ئۇ ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا خىمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرتلىق، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئوكسىگېندىن ئاكتىپ، فتوردىن مۇقىم ۋە بىر تەرەپ قىلىش ئاسان. ئازوت ترىفتورىد ئاساسلىقى پلازما ئويۇش گازى ۋە رېئاكسىيە كامېراسىنى تازىلاش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ چىپ، ياپلاق ئېكران، ئوپتىكىلىق تالا، فوتوۋولت باتارېيەسى قاتارلىق ئىشلەپچىقىرىش ساھەلىرىگە ماس كېلىدۇ.

باشقا فتور تەركىبلىك ئېلېكترونلۇق گازلار بىلەن سېلىشتۇرغاندا،ئازوت ترىفتورىدتېز رېئاكسىيە ۋە يۇقىرى ئۈنۈملۈك بولۇش ئەۋزەللىكلىرىگە ئىگە. بولۇپمۇ كرېمنىي نىترىد قاتارلىق كرېمنىي تەركىبلىك ماتېرىياللارنى ئويۇشتا، ئۇنىڭ ئويۇش سۈرئىتى ۋە تاللاشچانلىقى يۇقىرى بولۇپ، ئويۇلغان نەرسىنىڭ يۈزىدە ھېچقانداق قالدۇق قالدۇرمايدۇ. ئۇ يەنە ناھايىتى ياخشى تازىلاش دورىسى بولۇپ، يۈزىدە ھېچقانداق بۇلغىنىش يوق، بۇ بىر تەرەپ قىلىش جەريانىنىڭ ئېھتىياجىنى قاندۇرالايدۇ.