دۆلىتىمىزنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ۋە تاختا سانائىتى يۇقىرى سەۋىيەدە گۈللەنگەن. ئازوت ترىفتورىد تاختا ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەم بولسا بولمايدىغان ۋە ئەڭ چوڭ ھەجىمدىكى ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گاز بولۇش سۈپىتى بىلەن كەڭ بازار بوشلۇقىغا ئىگە.
كۆپ ئىشلىتىلىدىغان فتور تەركىبلىك ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گازلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇكۈكۈرت گېكساسفتورىد (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),كاربون تېترافتورىد (CF4)، ترىفلورومېتان (CHF3)، ئازوت ترىفلورىد (NF3)، گېكساسفلوروئېتان (C2F6) ۋە ئوكتافلوروپروپان (C3F8). ئازوت ترىفلورىد (NF3) ئاساسلىقى ھىدروگېن فتور-فتور گازى يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك خىمىيىلىك لازېرلارنىڭ فتور مەنبەسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ. H2-O2 ۋە F2 ئوتتۇرىسىدىكى رېئاكسىيە ئېنېرگىيەسىنىڭ ئۈنۈملۈك قىسمى (تەخمىنەن 25%) لازېر نۇرلىنىشى ئارقىلىق قويۇپ بېرىلىدۇ، شۇڭا HF-OF لازېرلىرى خىمىيىلىك لازېرلار ئىچىدە ئەڭ ئۈمىدۋار لازېرلار ھېسابلىنىدۇ.
ئازوت ترىفتورىد مىكرو ئېلېكترون سانائىتىدە ئېسىل پلازما ئويۇش گازى. كرېمنىي ۋە كرېمنىي نىترىدنى ئويۇشتا، ئازوت ترىفتورىد كاربون تېترافتورىد ۋە كاربون تېترافتورىد بىلەن ئوكسىگېننىڭ ئارىلاشمىسىغا قارىغاندا يۇقىرى ئويۇش سۈرئىتى ۋە تاللاشچانلىقىغا ئىگە بولۇپ، يۈزىگە ھېچقانداق بۇلغىنىش ئېلىپ كەلمەيدۇ. بولۇپمۇ قېلىنلىقى 1.5um دىن تۆۋەن بولغان ئىنتېگرال توك يولى ماتېرىياللىرىنى ئويۇشتا، ئازوت ترىفتورىدنىڭ ئويۇش سۈرئىتى ۋە تاللاشچانلىقى ناھايىتى ياخشى بولۇپ، ئويۇلغان نەرسىنىڭ يۈزىدە ھېچقانداق قالدۇق قالدۇرمايدۇ، شۇنداقلا ناھايىتى ياخشى تازىلاش دورىسى. نانو تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىياتى ۋە ئېلېكترون سانائىتىنىڭ كەڭ كۆلەمدە تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ، ئۇنىڭغا بولغان ئېھتىياج كۈندىن-كۈنگە ئاشىدۇ.
فتور تەركىبىدىكى ئالاھىدە گازنىڭ بىر تۈرى بولۇش سۈپىتى بىلەن، ئازوت ترىفتورىد (NF3) بازاردىكى ئەڭ چوڭ ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز مەھسۇلاتى. ئۇ ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا خىمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرتلىق، ئوكسىگېندىن ئاكتىپ، فتوردىن مۇقىم ھەمدە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىر تەرەپ قىلىش ئاسان.
ئازوت ترىفتورىد ئاساسلىقى پلازما ئويۇش گازى ۋە رېئاكسىيە كامېراسىنى تازىلاش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ چىپلار، ياپىلاق ئېكرانلار، ئوپتىكىلىق تالا، فوتوۋولت ھۈجەيرىلىرى قاتارلىق ئىشلەپچىقىرىش ساھەلىرىگە ماس كېلىدۇ.
باشقا فتور تەركىبلىك ئېلېكترونلۇق گازلارغا سېلىشتۇرغاندا، ئازوت ترىفتورىد تېز رېئاكسىيە ۋە يۇقىرى ئۈنۈملۈك بولۇش ئەۋزەللىكىگە ئىگە، بولۇپمۇ كرېمنىي نىترىد قاتارلىق كرېمنىي تەركىبلىك ماتېرىياللارنى ئويۇشتا، ئۇ يۇقىرى ئويۇش سۈرئىتى ۋە تاللاشچانلىققا ئىگە بولۇپ، ئويۇلغان نەرسىنىڭ يۈزىدە ھېچقانداق قالدۇق قالدۇرمايدۇ، شۇنداقلا ناھايىتى ياخشى تازىلاش دورىسى بولۇپ، يۈزەگە بۇلغىمايدۇ ھەمدە بىر تەرەپ قىلىش جەريانىنىڭ ئېھتىياجىنى قاندۇرالايدۇ.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 12-ئاينىڭ 26-كۈنى
