ئېلىمىزنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ۋە تاختا سانائىتى يۇقىرى گۈللىنىشنى ساقلايدۇ. ئازوت ترىفلورىد تاختا ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەم بولسا بولمايدىغان ۋە ئەڭ چوڭ ھەجىمدىكى ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گاز بولۇش سۈپىتى بىلەن ، كەڭ بازار بوشلۇقىغا ئىگە.
كۆپ ئىشلىتىلىدىغان فتور بار ئالاھىدە ئېلېكترونلۇق گازنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇگۈڭگۈرت ئالتە ئوكسىد (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),كاربون تېترافلورىد (CF4)، ترىفلوئورومېتان (CHF3) ، ئازوت ترىفلورىد (NF3) ، ئالېكسافلوئورېتان (C2F6) ۋە ئوكتافلوئوروپروپان (C3F8). ئازوت ترىفلورىد (NF3) ئاساسلىقى ھىدروگېن فتور-فتور گازى يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك خىمىيىلىك لازېرنىڭ فتور مەنبەسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ. H2-O2 بىلەن F2 ئارىسىدىكى رېئاكسىيە ئېنېرگىيىسىنىڭ ئۈنۈملۈك قىسمى (تەخمىنەن% 25) لازېر رادىئاتسىيىسى ئارقىلىق قويۇپ بېرىلىدۇ ، شۇڭا HF-OF لازېرلىرى خىمىيىلىك لازېرلار ئىچىدىكى ئەڭ ئۈمىدۋار لازېر.
ئازوت ترىفلورىد مىكرو ئېلېكترون سانائىتىدىكى ئېسىل پلازما ئېتىش گازى. كرېمنىي ۋە كرېمنىي نىترىدنى قىرىش ئۈچۈن ، ئازوت ترىفلورىدنىڭ قېتىشىش نىسبىتى ۋە تاللاشچانلىقى كاربون تېترافلورىد ۋە كاربون تېترافلورىد بىلەن ئوكسىگېننىڭ ئارىلاشمىسىغا قارىغاندا يۇقىرى بولۇپ ، يەر يۈزىدە بۇلغىنىش يوق. بولۇپمۇ قېلىنلىقى 1.5um دىن تۆۋەن بولغان توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ماتېرىياللىرىنى قىرىشتا ، ئازوت ترىفلوئورىدنىڭ ئېتىش نىسبىتى ۋە تاللاشچانلىقى ئىنتايىن ياخشى بولۇپ ، ئورالغان جىسىمنىڭ يۈزىدە قالدۇق قالمايدۇ ، شۇنداقلا ئىنتايىن ياخشى تازىلاش دورىسى. نانو تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىي قىلىشى ۋە ئېلېكترون سانائىتىنىڭ كەڭ كۆلەمدە تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، ئۇنىڭ ئېھتىياجى كۈندىن-كۈنگە ئاشىدۇ.
تەركىبىدە فتور بار ئالاھىدە گاز بولۇش سۈپىتى بىلەن ، ئازوت ترىفلورىد (NF3) بازاردىكى ئەڭ چوڭ ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە تەبىئىي گاز مەھسۇلاتى. ئۇ ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا خىمىيىلىك ھالدا ئىنېرتسىيىلىك بولۇپ ، ئوكسىگېنغا قارىغاندا تېخىمۇ ئاكتىپ ، فتورغا قارىغاندا تېخىمۇ مۇقىم ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىر تەرەپ قىلىش ئاسان.
ئازوت ترىفلورىد ئاساسلىقى پلازما قىرىش گازى ۋە رېئاكسىيە ئۆيىنى تازىلاش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزەك ، تەكشى تاختاي كۆرسىتىش ، ئوپتىك تالا ، يورۇقلۇق ۋولت ھۈجەيرىسى قاتارلىق ئىشلەپچىقىرىش ساھەلىرىگە ماس كېلىدۇ.
تەركىبىدە باشقا فتور بار ئېلېكترونلۇق گازلارغا سېلىشتۇرغاندا ، ئازوت ترىفلورىدنىڭ تېز ئىنكاس قايتۇرۇش ۋە يۇقىرى ئۈنۈمگە ئىگە ئەۋزەللىكى بار ، بولۇپمۇ كرېمنىيلىق نىترىد قاتارلىق كرېمنىي بار ماتېرىياللارنى قىرىشتا ، ئۇنىڭ يېپىشقاقلىقى ۋە تاللاشچانلىقى يۇقىرى ، ئۇلانغان جىسىمنىڭ يۈزىدە قالدۇق قالمايدۇ ، شۇنداقلا ئۇ ناھايىتى ياخشى تازىلاش دورىسى بولۇپ ، ئۇ يەر يۈزىگە بولغان بۇلغىنىشنى قاندۇرالمايدۇ.
يوللانغان ۋاقتى: 12-ئاينىڭ 26-كۈنىدىن 24-كۈنىگىچە
