2018-يىلى، دۇنياۋى ئېلېكترونلۇق گاز بازىرىنىڭ ئومۇمىي توك يولى 4 مىليارد 512 مىليون ئامېرىكا دوللىرىغا يېتىپ، يىللىق ئېشىش نىسبىتى %16 بولدى. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز كەسپىنىڭ يۇقىرى ئېشىش سۈرئىتى ۋە بازارنىڭ غايەت زور كۆلىمى ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازنىڭ ئورنىنى ئېلىش پىلانىنى تېزلەشتۈردى!
ئېلېكترون گازى دېگەن نېمە؟
ئېلېكترونلۇق گاز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، ياپلاق ئېكران، يورۇقلۇق چىقىرىدىغان دىئود، قۇياش ئېنېرگىيە باتارېيەسى ۋە باشقا ئېلېكترونلۇق مەھسۇلاتلارنى ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلىدىغان ئاساسلىق مەنبە ماتېرىيالنى كۆرسىتىدۇ، تازىلاش، ئويۇش، پىلاستىنكا شەكىللەندۈرۈش، ئارىلاشتۇرۇش ۋە باشقا جەريانلاردا كەڭ قوللىنىلىدۇ. ئېلېكترونلۇق گازنىڭ ئاساسلىق قوللىنىلىش ساھەلىرى ئېلېكترونلۇق سانائەت، قۇياش ئېنېرگىيە باتارېيەسى، كۆچمە ئالاقە، ماشىنا يول باشلاش ۋە ماشىنا ئاۋاز ۋە سىن سىستېمىسى، ئاۋىئاتسىيە، ھەربىي سانائەت ۋە باشقا نۇرغۇن ساھەلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز ئۆزىنىڭ خىمىيىلىك تەركىبىگە ئاساسەن يەتتە تۈرگە ئايرىلىدۇ: كرېمنىي، ئارسېن، فوسفور، بور، مېتال گىدرىد، گالىد ۋە مېتال ئالكوكسىد. ئىنتېگرال توك يولىدىكى ھەر خىل قوللىنىش ئۇسۇللىرىغا ئاساسەن، ئۇنى قوشما گاز، ئېپىتاكسىيە گازى، ئىئون ئىمپلانتاتسىيە گازى، يورۇقلۇق چىقىرىدىغان دىئود گازى، ئويۇش گازى، خىمىيىلىك پار چۆكمە گازى ۋە تەڭپۇڭلۇق گازى دەپ ئايرىشقا بولىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە 110 دىن ئارتۇق ئالاھىدە گاز ئىشلىتىلىدۇ، بۇنىڭ ئىچىدە 30 دىن ئارتۇقى ئادەتتە ئىشلىتىلىدۇ.
ئادەتتە، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش سانائىتى گازلارنى ئىككى تۈرگە ئايرىيدۇ: ئادەتتىكى گازلار ۋە ئالاھىدە گازلار. بۇلارنىڭ ئىچىدە، كۆپ ئىشلىتىلىدىغان گاز مەركەزلىك تەمىنلەشنى كۆرسىتىدۇ ۋە N2، H2، O2، Ar، He قاتارلىق نۇرغۇن گازلارنى ئىشلىتىدۇ. ئالاھىدە گاز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان بەزى خىمىيىلىك گازلارنى كۆرسىتىدۇ، مەسىلەن كېڭەيتىش، ئىئون ئوكۇل قىلىش، ئارىلاشتۇرۇش، يۇيۇش ۋە ماسكا ھاسىل قىلىش قاتارلىقلار. بۇلار ھازىر بىز يۇقىرى ساپلىقتىكى SiH4، PH3، AsH3، B2H6، N2O، NH3، SF6، NF3، CF4، BCl3، BF3، HCl، Cl2 قاتارلىقلار.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ پۈتۈن ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، چىپ ئىشلەپچىقىرىشتىن تارتىپ ئاخىرقى ئۈسكۈنە ئورالمىسىغىچە، دېگۈدەك ھەر بىر ھالقىسى ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز، ئىشلىتىلگەن گازنىڭ كۆپ خىللىقى ۋە يۇقىرى سۈپەت تەلىپىدىن ئايرىلالمايدۇ، شۇڭا ئېلېكترونلۇق گازدا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار بار. «يېمەكلىك».
يېقىنقى يىللاردىن بۇيان، جۇڭگونىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە كۆرسىتىش تاختىسى قاتارلىق ئاساسلىق ئېلېكترونلۇق زاپچاسلىرىنىڭ يېڭى ئىشلەپچىقىرىش ئىقتىدارى ئاشتى، شۇنداقلا ئېلېكترونلۇق خىمىيىلىك ماتېرىياللارنىڭ ئىمپورت ئورنىنى ئېلىشقا بولغان ئېھتىياج كۈچلۈك بولدى. ئېلېكترونلۇق گازلارنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى ئورنى بارغانسېرى گەۋدىلەندى. دۆلەت ئىچىدىكى ئېلېكترونلۇق گاز سانائىتى تېز سۈرئەتتە تەرەققىي قىلىدۇ.
ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازنىڭ ساپلىق تەلىپى ئىنتايىن يۇقىرى، چۈنكى ساپلىق تەلەپكە يەتمىسە، ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازدىكى سۇ پارى ۋە ئوكسىگېن قاتارلىق ئارىلاشما گۇرۇپپىلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ يۈزىدە ئاسانلا ئوكسىد پەردىسىنى ھاسىل قىلىدۇ، بۇ ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ، ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازدا ئارىلاشما زەررىچىلەر بار، بۇلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ قىسقا تۇتىشىشى ۋە توك يولىنىڭ بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ساپلىقنىڭ ياخشىلىنىشى ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ۋە ئىقتىدارىدا مۇھىم رول ئوينايدۇ دېيىشكە بولىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئۈزلۈكسىز تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ، چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى داۋاملىق ياخشىلىنىپ، ھازىر ئۇ 5nm غا يەتتى، بۇ مور قانۇنىنىڭ چېكىگە يېقىنلىشىش ئالدىدا تۇرىدۇ، بۇ ئىنسان چېچىنىڭ دىئامېتىرىنىڭ يىگىرمە بىر قىسمىغا (تەخمىنەن 0.1 مىللىمېتىر) تەڭ. شۇڭا، بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغان ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازنىڭ ساپلىقىغا تېخىمۇ يۇقىرى تەلەپلەرنى قويدى.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2021-يىلى 12-ئاينىڭ 15-كۈنى





