ئىشلەپچىقىرىش جەريانى نىسبەتەن ئىلغار بولغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر قۇيۇش زاۋۇتلىرىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، تەخمىنەن 50 خىل گازغا ئېھتىياجلىق بولىدۇ. گازلار ئادەتتە كۆپ مىقداردىكى گاز ۋە ... غا بۆلىنىدۇ.ئالاھىدە گازلار.

گازلارنىڭ مىكرو ئېلېكترون ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە قوللىنىلىشى گازلارنى ئىشلىتىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرىدا ھەمىشە مۇھىم رول ئويناپ كەلگەن، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرى ھەر خىل كەسىپلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ. ULSI، TFT-LCD دىن تارتىپ ھازىرقى مىكرو ئېلېكتر مېخانىكىلىق (MEMS) سانائىتىگىچە، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرى قۇرۇق ئويۇش، ئوكسىدلىنىش، ئىئون كۆچۈرۈش، نېپىز پەردە چۆكمىسى قاتارلىق مەھسۇلات ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ.

مەسىلەن، نۇرغۇن كىشىلەر چىپلارنىڭ قۇمدىن ياسالغانلىقىنى بىلىدۇ، ئەمما چىپ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ پۈتكۈل جەريانىغا نەزەر سالساق، فوتورېزىست، پارقىراق سۇيۇقلۇق، نىشانلىق ماتېرىيال، ئالاھىدە گاز قاتارلىق تېخىمۇ كۆپ ماتېرىياللار لازىم بولىدۇ. ئارقا تەرەپ ئورالمىسى ئۈچۈن يەنە ھەر خىل ماتېرىياللاردىن ياسالغان ئاساسىي ماتېرىياللار، ئارىلاشما ماتېرىياللار، قوغۇشۇن رامكىلار، باغلاش ماتېرىياللىرى قاتارلىقلار تەلەپ قىلىنىدۇ. ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخى جەھەتتە كرېمنىي ۋافلىدىن قالسىلا ئىككىنچى ئورۇندا تۇرىدۇ، ئۇنىڭدىن قالسا ماسكا ۋە فوتورېزىستلار.

گازنىڭ ساپلىقى زاپچاسلارنىڭ ئىقتىدارى ۋە مەھسۇلات مىقدارىغا ھەل قىلغۇچ تەسىر كۆرسىتىدۇ، گاز بىلەن تەمىنلەشنىڭ بىخەتەرلىكى خادىملارنىڭ سالامەتلىكى ۋە زاۋۇتنىڭ بىخەتەرلىكى بىلەن مۇناسىۋەتلىك. نېمە ئۈچۈن گازنىڭ ساپلىقى ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسى ۋە خادىملارغا بۇنچە چوڭ تەسىر كۆرسىتىدۇ؟ بۇ مۇبالىغە ئەمەس، بەلكى گازنىڭ ئۆزىنىڭ خەتەرلىك خۇسۇسىيىتى بىلەن بەلگىلىنىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى كۆپ ئۇچرايدىغان گازلارنىڭ تۈرگە ئايرىلىشى

ئادەتتىكى گاز

ئادەتتىكى گاز يەنە كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىلىدىغان گاز دەپمۇ ئاتىلىدۇ: ئۇ ساپلىق تەلىپى 5N دىن تۆۋەن، ئىشلەپچىقىرىش ۋە سېتىش مىقدارى چوڭ بولغان سانائەت گازىنى كۆرسىتىدۇ. ئۇنى تەييارلاش ئۇسۇلىغا ئاساسەن ھاۋا ئايرىش گازى ۋە سۈنئىي گاز دەپ ئايرىشقا بولىدۇ. ھىدروگېن (H2)، ئازوت (N2)، ئوكسىگېن (O2)، ئارگون (A2) قاتارلىقلار.

ئالاھىدە گاز

ئالاھىدە گاز دېگەنلىك مەلۇم ساھەلەردە ئىشلىتىلىدىغان ۋە ساپلىق، خىلمۇخىللىق ۋە خۇسۇسىيەتكە ئالاھىدە تەلەپ قويىدىغان سانائەت گازىنى كۆرسىتىدۇ. ئاساسلىقىSiH4، PH3، B2H6، A8H3،HCL، CF4،NH3، POCL3، SIH2CL2، SIHCL3،NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... ۋەھاكازالار.

ئىسپىرتلىق گازلارنىڭ تۈرلىرى

ئالاھىدە گازلارنىڭ تۈرلىرى: چىرىتىشچان، زەھەرلىك، ئاسان ئوت ئالىدىغان، كۆيۈشنى قوللايدىغان، ئىنېرتلىق قاتارلىقلار.
كۆپ ئىشلىتىلىدىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازلار تۆۋەندىكىدەك تۈرگە ئايرىلىدۇ:
(i) چىرىشچان/زەھەرلىك:HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3…
(ii) ئاسان ئوت ئالىدىغان: H2،CH4、SiH4、 PH3 、 AsH3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) يانىدىغان: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) ئىنېرت: N2،CF4C2F6C4F8、SF6CO2،Ne、Krئۇ…

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، ئوكسىدلىنىش، دىففۇزىيە، چۆكمە قىلىش، ئويۇش، ئوكۇل قىلىش، فوتولىتوگرافىيە ۋە باشقا جەريانلاردا تەخمىنەن 50 خىل ئالاھىدە گاز (ئالاھىدە گاز دەپ ئاتىلىدۇ) ئىشلىتىلىدۇ، ئومۇمىي جەريان باسقۇچلىرى يۈزلىگەندىن ئاشىدۇ. مەسىلەن، PH3 ۋە AsH3 ئىئون ئىمپلانتاتسىيە جەريانىدا فوسفور ۋە ئارسېن مەنبەسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ، F ئاساسلىق CF4، CHF3، SF6 گازلىرى ۋە گالوگېن گازلىرى CI2، BCI3، HBr ئادەتتە ئويۇش جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ، SiH4، NH3، N2O چۆكمە پىلاستىنكا جەريانىدا، F2/Kr/Ne، Kr/Ne فوتولىتوگرافىيە جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ.

يۇقىرىقى جەھەتلەردىن قارىغاندا، نۇرغۇن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازلارنىڭ ئىنسان بەدىنىگە زىيانلىق ئىكەنلىكىنى چۈشىنىۋالغىلى بولىدۇ. بولۇپمۇ SiH4 قاتارلىق بەزى گازلار ئۆزلۈكىدىن ئوت ئالىدۇ. ئۇلار ئېقىپ كەتكەندىن كېيىن، ھاۋادىكى ئوكسىگېن بىلەن قاتتىق رېئاكسىيەگە كىرىپ، كۆيۈشكە باشلايدۇ؛ AsH3 بولسا ناھايىتى زەھەرلىك. ھەر قانداق كىچىك ئېقىپ كېتىش كىشىلەرنىڭ ھاياتىغا زىيان يەتكۈزۈشى مۇمكىن، شۇڭا ئالاھىدە گازلارنى ئىشلىتىش ئۈچۈن كونترول سىستېمىسى لايىھىسىنىڭ بىخەتەرلىكىگە بولغان تەلىپى ئالاھىدە يۇقىرى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەر يۇقىرى ساپلىقتىكى گازلارنىڭ «ئۈچ گرادۇس» بولۇشىنى تەلەپ قىلىدۇ.

گازنىڭ ساپلىقى

گازدىكى ئارىلاشما ئاتموسفېرانىڭ مىقدارى ئادەتتە گاز ساپلىقىنىڭ پىرسەنتى سۈپىتىدە ئىپادىلىنىدۇ، مەسىلەن %99.9999. ئادەتتە، ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازلارنىڭ ساپلىق تەلىپى 5N-6N غا يېتىدۇ، شۇنداقلا ئارىلاشما ئاتموسفېرا مىقدارىنىڭ ppm (مىليونغا بىر قىسىم)، ppb (مىليارتقا بىر قىسىم) ۋە ppt (تىرىليونغا بىر قىسىم) نىڭ ھەجىم نىسبىتى ئارقىلىق ئىپادىلىنىدۇ. ئېلېكترونلۇق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەسى ئالاھىدە گازلارنىڭ ساپلىقى ۋە سۈپەت مۇقىملىقىغا ئەڭ يۇقىرى تەلەپ قويىدۇ، ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازلارنىڭ ساپلىقى ئادەتتە 6N دىن يۇقىرى بولىدۇ.

قۇرۇقلىق

گازدىكى ئىز سۇ مىقدارى ياكى ھۆللۈك ئادەتتە شەبنەم نۇقتىسى بىلەن ئىپادىلىنىدۇ، مەسىلەن ئاتموسفېرا شەبنەم نۇقتىسى -70℃.

پاكىزلىق

گازدىكى بۇلغىغۇچى زەررىچىلەرنىڭ سانى، يەنى زەررىچە چوڭلۇقى µm بولغان زەررىچىلەر، قانچە زەررىچە/M3 بىلەن ئىپادىلىنىدۇ. سىقىلغان ھاۋا ئۈچۈن، ئادەتتە ماي ​​مىقدارىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان مۇقەررەر قاتتىق قالدۇقلارنىڭ مىللىگرام/m3 بىلەن ئىپادىلىنىدۇ.