بىر قەدەر ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش جەريانى بولغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر زاۋۇتىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ، 50 خىلغا يېقىن ئوخشىمىغان گازغا ئېھتىياجلىق. گازلار ئادەتتە كۆپ مىقداردىكى گاز ۋەئالاھىدە گازلار.

مىكرو ئېلېكترون ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە گاز ئىشلىتىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا گاز ئىشلىتىش ئەزەلدىن مۇھىم رول ئويناپ كەلدى ، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرى ھەرقايسى كەسىپلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ. ULSI ، TFT-LCD دىن ھازىرقى مىكرو ئېلېكتىرو مېخانىكا (MEMS) سانائىتىگىچە ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرى مەھسۇلات ئىشلەپچىقىرىش جەريانى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، بۇلار قۇرۇتۇش ، ئوكسىدلىنىش ، ئىئون كۆچۈرۈش ، نېپىز پەردە چۆكۈش قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

مەسىلەن ، نۇرغۇن كىشىلەر ئۆزەكنىڭ قۇمدىن ياسالغانلىقىنى بىلىدۇ ، ئەمما ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىشنىڭ پۈتكۈل جەريانىغا قارايدىغان بولساق ، تېخىمۇ كۆپ ماتېرىيالغا ئېھتىياجلىق ، مەسىلەن فوتوگراف ، سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى ، نىشان ماتېرىيال ، ئالاھىدە گاز قاتارلىقلار كەم بولسا بولمايدۇ. ئارقا ئورالما ئورالمىسى يەنە ھەر خىل ماتېرىياللارنىڭ ئاستى قىسمى ، ئۆز-ئارا ماسلاشتۇرغۇچ ، قوغۇشۇن رامكىسى ، باغلىنىش ماتېرىيالى قاتارلىقلارنى تەلەپ قىلىدۇ. ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىدىكى كرېمنىيلىق ۋافېردىن كېيىنكى ئىككىنچى چوڭ ماتېرىيال ، ئۇنىڭدىن كېيىن ماسكا ۋە فوتوگراف.

گازنىڭ ساپلىقى زاپچاسلارنىڭ ئىقتىدارى ۋە مەھسۇلاتنىڭ مەھسۇلات مىقدارىغا ھەل قىلغۇچ تەسىر كۆرسىتىدۇ ، تەبىئىي گاز بىلەن تەمىنلەش بىخەتەرلىكى خادىملارنىڭ سالامەتلىكى ۋە زاۋۇت تىجارىتىنىڭ بىخەتەرلىكى بىلەن مۇناسىۋەتلىك. نېمە ئۈچۈن گازنىڭ ساپلىقى جەريان لىنىيىسى ۋە خادىملارغا شۇنچە چوڭ تەسىر كۆرسىتىدۇ؟ بۇ مۇبالىغە ئەمەس ، ئەمما گازنىڭ خەتەرلىك ئالاھىدىلىكى تەرىپىدىن بەلگىلىنىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى ئورتاق گازلارنى تۈرگە ئايرىش

ئادەتتىكى گاز

ئادەتتىكى گاز يەنە توپ گازى دەپمۇ ئاتىلىدۇ: ئۇ ساپلىق تەلىپى 5N دىن تۆۋەن ، ئىشلەپچىقىرىش ۋە سېتىش مىقدارى كۆپ بولغان سانائەت گازىنى كۆرسىتىدۇ. ئۇنى ئوخشىمىغان تەييارلىق ئۇسۇللىرى بويىچە ھاۋا ئايرىش گازى ۋە بىرىكمە گاز دەپ ئايرىشقا بولىدۇ. ھىدروگېن (H2) ، ئازوت (N2) ، ئوكسىگېن (O2) ، ئارگون (A2) قاتارلىقلار.

ئالاھىدە گاز

ئالاھىدە گاز سانائەت ساھەسىنى كۆرسىتىدۇ ، ئۇ ئالاھىدە ساھەدە ئىشلىتىلىدۇ ھەمدە ساپلىق ، كۆپ خىللىق ۋە خۇسۇسىيەتكە ئالاھىدە تەلەپ قويىدۇ. ئاساسلىقىSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… قاتارلىقلار.

بوشلۇقتىكى گازلارنىڭ تۈرلىرى

ئالاھىدە گازلارنىڭ تۈرلىرى: چىرىتكۈچى ، زەھەرلىك ، ئاسان يانىدىغان ، كۆيۈشنى قوللايدىغان ، ئىنېرت قاتارلىقلار.
كۆپ ئىشلىتىلىدىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازلار تۆۋەندىكىدەك تۈرگە ئايرىلىدۇ:
(1) چىرىتكۈچى / زەھەرلىك:HCl、 BF3 、 WF6 、 HBr 、 SiH2Cl2 、 NH3 、 PH3 、 Cl2 、BCl3…
(2) ئاسان يانىدىغان: H2 、CH4、SiH4、 PH3 、 AsH3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(3) ئاسان يانىدىغان: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3…
(iv) Inert: N2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 He…

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزەك ياساش جەريانىدا ئوكسىدلىنىش ، تارقىلىش ، چۆكۈش ، قىرىش ، ئوكۇل ئۇرۇش ، فوتوگرافلىق ۋە باشقا جەريانلاردا تەخمىنەن 50 خىل ئوخشىمىغان ئالاھىدە گاز (ئالاھىدە گاز دېيىلىدۇ) ئىشلىتىلىدۇ ، ئومۇمىي جەريان باسقۇچلىرى نەچچە يۈزدىن ئاشىدۇ. مەسىلەن ، PH3 ۋە AsH3 ئىئون كۆچۈرۈش جەريانىدا فوسفور ۋە ئارسېن مەنبەسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، F نى ئاساس قىلغان CF4 ، CHF3 ، SF6 ۋە گالوگېن گازى CI2, BCI3, HBr ئادەتتە قىرىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ ، SiH4, NH3, N2O چۆكمە فىلىم جەريانى ، F2 / Kr / Ne, Kr / Ne فوتوگرافلىق جەرياندا.

يۇقارقى تەرەپلەردىن بىز نۇرغۇن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازنىڭ ئادەم بەدىنىگە زىيانلىق ئىكەنلىكىنى چۈشىنىۋالالايمىز. بولۇپمۇ SiH4 غا ئوخشاش بىر قىسىم گازلار ئۆزىنى كۆيدۈرۈۋېتىدۇ. ئۇلار ئېقىپ كەتسىلا ، ئۇلار ھاۋادىكى ئوكسىگېن بىلەن شىددەت بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدۇ ۋە كۆيۈشكە باشلايدۇ. ھەمدە AsH3 زەھەرلىك. ھەر قانداق ئازراق ئېقىپ كېتىش كىشىلەرنىڭ ھاياتىغا زىيان ئېلىپ كېلىشى مۇمكىن ، شۇڭا ئالاھىدە گاز ئىشلىتىش كونترول سىستېمىسى لايىھىسىنىڭ بىخەتەرلىكىگە بولغان تەلەپ ئالاھىدە يۇقىرى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يۇقىرى ساپلىقتىكى گازلارنىڭ «ئۈچ گرادۇس» بولۇشىنى تەلەپ قىلىدۇ

گاز ساپلىقى

گازدىكى نىجاسەت ئاتموسفېراسىنىڭ مەزمۇنى ئادەتتە گازنىڭ ساپلىق نىسبىتىدە ئىپادىلىنىدۇ ، مەسىلەن% 99.9999. ئومۇمەن قىلىپ ئېيتقاندا ، ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازنىڭ ساپلىق تەلىپى 5N-6N غا يېتىدۇ ، شۇنداقلا يەنە ئاتموسفېرا قاتلىمىدىكى ppm (ھەر بىر مىليون) ، ppb (ھەر بىر تىرىليون) نىڭ ھەجىم نىسبىتى بىلەن ئىپادىلىنىدۇ. ئېلېكترونلۇق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەيدانى ئالاھىدە گازلارنىڭ ساپلىقى ۋە سۈپىتىنىڭ مۇقىملىقىغا ئەڭ يۇقىرى تەلەپ قويىدۇ ، ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازلارنىڭ ساپلىقى ئادەتتە 6N دىن يۇقىرى بولىدۇ.

قۇرغاقچىلىق

تەبىئىي گاز ياكى ھۆللۈكتىكى مىكرو سۇنىڭ مىقدارى ئادەتتە شەبنەم نۇقتىسىدا ئىپادىلىنىدۇ ، مەسىلەن ئاتموسفېرا شەبنەم نۇقتىسى -70 as.

پاكىزلىق

گازدىكى بۇلغىما زەررىچىلىرىنىڭ سانى ، زەررىچە چوڭلۇقى µm بولغان زەررىچىلەر قانچە زەررىچە / M3 بىلەن ئىپادىلىنىدۇ. پىرىسلانغان ھاۋاغا نىسبەتەن ، ئادەتتە ماي ​​تەركىبىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ساقلانغىلى بولمايدىغان قاتتىق قالدۇقلارنىڭ mg / m3 دا ئىپادىلىنىدۇ.