ھىدروگېن خىلورىدرەڭسىز، ئۆتكۈر پۇراقلىق گاز. ئۇنىڭ سۇدىكى ئېرىتمىسى تۇز كىسلاتاسى دەپ ئاتىلىدۇ، يەنە تۇز كىسلاتاسى دەپمۇ ئاتىلىدۇ. ۋودورود خلورىد سۇدا ناھايىتى ئېرىيدۇ. 0 سېلسىيە گرادۇستا، 1 ھەجىم سۇ تەخمىنەن 500 ھەجىم ۋودورود خلورىدنى ئېرىتەلەيدۇ.

ئۇنىڭ تۆۋەندىكى خۇسۇسىيەتلىرى ۋە ئالاھىدىلىكلىرى بار:

1. يۇقىرى ساپلىق

ئېلېكترونلۇق دەرىجىنىڭ ساپلىقىۋودورود خلورىديېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا ھېچقانداق ئارىلاشمىلارنىڭ كىرگۈزۈلمەسلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، ئادەتتە ppm ياكى ئۇنىڭدىن تۆۋەن سەۋىيەدە بولىدۇ.

2. ھەرىكەتسىزلىك

ئۇ خىمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرت گاز بولۇپ، باشقا نۇرغۇن ماددىلار بىلەن رېئاكسىيە قىلمايدۇ، بۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىشتا ئىنتايىن مۇھىم.

3. يۇقىرى مۇقىملىق

ئېلېكترونلۇق دەرىجەۋودورود خلورىدئادەتتە يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئىشەنچلىك پىششىقلاپ ئىشلىنىشىنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن مۇقىم خىمىيىلىك ماددىلارغا ئىگە.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاپ ئىشلەشتە، ئېلېكترونلۇق دەرىجىلىك ۋودورود خىلورىدنىڭ ئاساسلىق ئىشلىتىلىش دائىرىسى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

1. يۈزەكى تازىلاش ۋە تەييارلاش

ئۈنۈملۈك يۈزە تازىلىغۇچ سۈپىتىدە، ئېلېكترونلۇق دەرىجىلىكۋودورود خلورىدئېپىتاكسىيە قەۋىتى ياكى پەردىسىنىڭ سۈپىتى ۋە ساپلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ئاساسىي قاتلام يۈزىدىكى ئوكسىدلار ۋە ئارىلاشمىلارنى چىقىرىۋېتىشكە ئىشلىتىلىدۇ.

2. ئېپىتاكسىيال ئۆسۈش ياردىمى

ئېپىتاكسىيە جەريانىدا يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىش دورىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلگەندە، ئۇ ئېپىتاكسىيە قەۋىتىنىڭ سۈپىتىنى ياخشىلاش، تورنىڭ ماسلىشىشىنى ياخشىلاش ۋە تور كەمتۈكلۈكلىرىنىڭ شەكىللىنىشىنى ئازايتىشقا ياردەم بېرىدۇ.

3. ئاساسىي قاتلامنى ئالدىن بىر تەرەپ قىلىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنى تەييارلاشتىن بۇرۇن، ئېلېكترونلۇق دەرىجىگە ئايرىڭ.ۋودورود خلورىدئېپىتاكسىيال قەۋەت بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى يېپىشتۇرۇشنى ياخشىلاش ئۈچۈن ئاساسىي قاتلام يۈزىنى مۇقىم ئاساس ھاسىل قىلىش ئۈچۈن ئىشلىتىشكە بولىدۇ.

4. چۆكمە ياردەمچى ئاگېنتى

خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش (CVD) ياكى فىزىكىلىق پارغا چۆكۈش (PVD) جەريانىدا، ئېلېكترونلۇق دەرىجىلىك ھىدروگېن خىلورىد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارنىڭ چۆكۈش رېئاكسىيەسىگە قاتنىشىش ئۈچۈن گاز باسقۇچى ئۆتكۈزۈش ۋاسىتىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ.

5. گاز فازىسى يۆتكىگۈچىسى

گاز باسقۇچى يۆتكىلىش ئاگېنتى سۈپىتىدە، باشقا گاز شەكىللىك ئالدىنقى ماددىلار رېئاكسىيە كامېراسىغا كىرگۈزۈلۈپ، ماتېرىيالنىڭ چۆكۈش سۈرئىتى ۋە بىردەكلىكىنى تەڭشەشكە ياردەم بېرىدۇ.

بۇ ئالاھىدىلىكلەر ئېلېكترونلۇق دەرىجەنى بەلگىلەيدۇۋودورود خلورىديېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسىدىكى مۇھىم بىر تەرەپ قىلىش ئاگېنتى بولۇپ، ئاخىرقى ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشەنچلىكلىكىگە مۇھىم تەسىر كۆرسىتىدۇ.

ئېلېكترونلۇق دەرىجىلىك ھىدروگېن خىلورىد يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاپ ئىشلەشتە ئىشلىتىلىشىدىن باشقا، باشقا ساھەلەردە كۆپ خىل ئىشلىتىلىشى مۇمكىن، مەسىلەن: يۇقىرى ساپلىقتىكى ماتېرىياللارنى تەييارلاش، يېقىلغۇ باتارېيەسى، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال ئۆستۈرۈش، پار باسقۇچى لىتوگرافىيەسى، ماتېرىيال ئانالىزى، خىمىيىلىك تەتقىقات.

ئادەتتە، ئېلېكترونلۇق دەرىجەۋودورود خلورىديېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىن باشقا كەڭ دائىرىدە قوللىنىلىدىغان كۆپ ئىقتىدارلىق، يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز.