ئالاھىدە گازئادەتتىكىگە ئوخشىمايدۇسانائەت گازىبۇنىڭدا ئۇلارنىڭ ئالاھىدە ئىشلىتىلىشى بار ۋە ئالاھىدە ساھەدە قوللىنىلىدۇ. ئۇلارنىڭ ساپلىقى ، نىجاسەت مەزمۇنى ، تەركىبى ۋە فىزىكىلىق ۋە خىمىيىلىك خۇسۇسىيەتلىرىگە قارىتا كونكرېت تەلەپلىرى بار. سانائەت گازىغا سېلىشتۇرغاندا ، ئالاھىدە گازلارنىڭ تۈرى كۆپ خىل ، ئەمما ئىشلەپچىقىرىش ۋە سېتىش مىقدارى كىچىكرەك.

Theئارىلاشما گازۋەئۆلچەملىك ئۆلچەش گازىبىز ئادەتتە ئىشلىتىدىغان ئالاھىدە گازنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى. ئارىلاشما گاز ئادەتتە ئادەتتىكى ئارىلاشما گاز ۋە ئېلېكترونلۇق ئارىلاشما گاز دەپ ئايرىلىدۇ.

ئادەتتىكى ئارىلاشما گازلار:لازېر ئارىلاشما گاز، ئەسۋابلارنى بايقاش ئارىلاشما گاز ، كەپشەرلەش ئارىلاشما گاز ، قوغداش ئارىلاشما گاز ، ئېلېكتر نۇر مەنبەسى ئارىلاشما گاز ، داۋالاش ۋە بىئولوگىيىلىك تەتقىقات ئارىلاشما گاز ، دېزىنفېكسىيە قىلىش ۋە مىكروبسىزلاندۇرۇش ئارىلاشما گاز ، ئەسۋاب سىگنالى ئارىلاشما گاز ، يۇقىرى بېسىملىق ئارىلاشما گاز ۋە نۆل دەرىجىدىكى ھاۋا.

ئېلېكترونلۇق گاز ئارىلاشمىسى ئېپىتاكسىيىلىك گاز ئارىلاشمىسى ، خىمىيىلىك ھور چۆكۈش گازى ئارىلاشمىسى ، دوپپا گازى ئارىلاشمىسى ، يېقىلغۇ گاز ئارىلاشمىسى ۋە باشقا ئېلېكترونلۇق گاز ئارىلاشمىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. بۇ گاز ئارىلاشمىلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە مىكرو ئېلېكترون كەسپىدە كەم بولسا بولمايدىغان رول ئوينايدۇ ھەمدە چوڭ تىپتىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى (LSI) ۋە ئىنتايىن چوڭ تىپتىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى (VLSI) ياساشتا ، شۇنداقلا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى ئىشلەپچىقىرىشتا كەڭ قوللىنىلىدۇ.

5 خىل ئېلېكترونلۇق ئارىلاشما گاز ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدۇ

ئارىلاشما گاز

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر ۋە توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساشتا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارغا بەزى پاسكىنا ماددىلار كىرگۈزۈلۈپ ، كۆزلىگەن ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە قارشىلىق كۈچىنى ئاشۇرۇپ ، قارشىلىق كۆرسەتكۈچى ، PN ئۇلىنىشى ، كۆمۈلۈپ قالغان قەۋەت ۋە باشقا ماتېرىياللارنى ئىشلەپچىقىرىش ئىمكانىيىتىگە ئىگە قىلىدۇ. دورا ئىشلىتىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان گازلار دوپپا گازى دەپ ئاتىلىدۇ. بۇ گازلار ئاساسلىقى ئارسېن ، فوسفىن ، فوسفور ترىفلورىد ، فوسفور پېنتافلورىد ، ئارسېن ترىفلورىد ، ئارسېن پېنتافلورىد ،boron trifluoride, and diborane. دوپپا مەنبەسى ئادەتتە بىر كابېنتتىكى توشۇغۇچى گازى (ئارگون ۋە ئازوتقا ئوخشاش) بىلەن ئارىلاشتۇرۇلىدۇ. ئاندىن ئارىلاشتۇرۇلغان گاز ئۇدا تارقىلىشچان ئوچاققا ئوكۇل قىلىنىدۇ ۋە ۋافېر ئەتراپىدا ئايلىنىدۇ ، دوپپىنى ۋافېر يۈزىگە قويىدۇ. دوپپا ئاندىن كرېمنىي بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، كرېمنىيغا كۆچۈپ كېلىدىغان دوپپا مېتال ھاسىل قىلىدۇ.

Epitaxial ئۆسۈش گازى ئارىلاشمىسى

Epitaxial نىڭ ئۆسۈشى يەككە كىرىستال ماتېرىيالنى يەر ئاستى يۈزىگە ساقلاش ۋە ئاشۇرۇش جەريانىدۇر. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە ، ئېھتىياتچانلىق بىلەن تاللانغان ئاستىرتتىن خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (CVD) ئارقىلىق بىر ياكى بىر نەچچە قەۋەت ماتېرىيال يېتىشتۈرۈشتە ئىشلىتىلىدىغان گازلار ئېپىتاكسىيىلىك گاز دەپ ئاتىلىدۇ. كۆپ ئۇچرايدىغان كرېمنىي ئېپىتاكسىيىلىك گازلار ھىدروگېن دىخلوروسىلان ، كرېمنىي تېتراخلورىد ۋە سىلاننى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئۇلار ئاساسلىقى ئېپىتاكسىيىلىك كرېمنىي چۆكمىسى ، پولى كرىستاللىق كرېمنىي چۆكمىسى ، كرېمنىي ئوكسىد پىلاستىنكىسى چۆكۈش ، كرېمنىي نىترىد پىلاستىنكىسى ۋە قۇياش ئېنېرگىيىسى ھۈجەيرىسى ۋە باشقا سەزگۈر ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن ئامورفوس كرېمنىي پىلاستىنكىسىغا ئىشلىتىلىدۇ.

Ion كۆچۈرۈلگەن گاز

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى ۋە توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساشتا ، ئىئون كۆچۈرۈش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان گازلار ئورتاق ھالدا ئىئون كۆچۈرۈش گازى دەپ ئاتىلىدۇ. ئىئونلانغان بۇلغانمىلار (بور ، فوسفور ۋە ئارسېن ئىئونىغا ئوخشاش) ئاستىغا كۆچۈرۈلۈشتىن ئىلگىرى يۇقىرى ئېنېرگىيە سەۋىيىسىگە تېزلىتىلىدۇ. ئىئون كۆچۈرۈش تېخنىكىسى بوسۇغا بېسىمىنى كونترول قىلىشتا ئەڭ كەڭ قوللىنىلىدۇ. كۆچۈرۈلگەن بۇلغانمىلارنىڭ مىقدارىنى ئىئون نۇر ئېقىمىنى ئۆلچەش ئارقىلىق بەلگىلىگىلى بولىدۇ. ئىئون كۆچۈرۈش گازى ئادەتتە فوسفور ، ئارسېن ۋە بور گازىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

ئارىلاشما گاز

قىچىشىش بىر تەرەپ قىلىنغان يۈزنى (مەسىلەن ، مېتال پىلاستىنكا ، كرېمنىي ئوكسىد پىلىمى قاتارلىقلار) فوتوگراف تەرىپىدىن نىقابلانمىغان يەر ئاستى سۈيىنى يوقىتىش جەريانى بىلەن بىر ۋاقىتتا ، فوتوگراف تەرىپىدىن نىقابلانغان يەرنى ساقلاپ قېلىش ئارقىلىق ، يەر ئاستى يۈزىدە لازىملىق تەسۋىر ھاسىل قىلىش ئەندىزىسىگە ئېرىشىدۇ.

خىمىيىلىك ھور چۆكۈش گازى ئارىلاشمىسى

خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (CVD) ئۆزگىرىشچان بىرىكمىلەردىن پايدىلىنىپ ، پار باسقۇچىدىكى خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق بىر ماددا ياكى بىرىكمە ماددىلارنى قويىدۇ. بۇ ھور فازىلىق خىمىيىلىك رېئاكسىيەدىن پايدىلىنىدىغان فىلىم ھاسىل قىلىش ئۇسۇلى. ئىشلىتىلگەن CVD گازى شەكىللەنگەن فىلىمنىڭ تۈرىگە ئاساسەن ئوخشاش بولمايدۇ.