Epitaxial (ئۆسۈش)ئارىلاشما گاs

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە ، ئېھتىياتچانلىق بىلەن تاللانغان يەر ئاستىغا خىمىيىلىك ھور چۆكۈش ئارقىلىق بىر ياكى بىر نەچچە قەۋەت ماتېرىيال يېتىشتۈرۈشتە ئىشلىتىلىدىغان گاز ئېپىتاكسىيىلىك گاز دەپ ئاتىلىدۇ.

كۆپ ئىشلىتىلىدىغان كرېمنىي ئېپىتاكسىيىلىك گازلار دىخلوروسىلان ، كرېمنىي تېتراخلورىد ۋەسىلان. ئاساسلىقى ئېپىتاكسىيىلىك كرېمنىي چۆكۈش ، كرېمنىي ئوكسىد پىلاستىنكىسى چۆكۈش ، كرېمنىي نىترىد پىلاستىنكىسى چۆكۈش ، قۇياش ئېنېرگىيىسى ھۈجەيرىسى ۋە باشقا فوتوئېلېكتورلار ئۈچۈن ئامورفوس كرېمنىي پىلاستىنكىسى قاتارلىقلارغا ئىشلىتىلىدۇ.

خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (CVD) ئارىلاشما گاز

CVD ئۆزگىرىشچان بىرىكمىلەرنى ئىشلىتىپ گاز فازا خىمىيىلىك رېئاكسىيەسى ئارقىلىق مەلۇم ئېلېمېنت ۋە بىرىكمىلەرنى ساقلاش ئۇسۇلى ، يەنى گاز فازىلىق خىمىيىلىك رېئاكسىيەدىن پايدىلىنىپ فىلىم ھاسىل قىلىش ئۇسۇلى. شەكىللەنگەن كىنولارنىڭ ئوخشىماسلىقىغا ئاساسەن ، ئىشلىتىلگەن خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (CVD) گازىمۇ ئوخشىمايدۇ.

دوپپائارىلاشما گاز

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر ۋە توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساشتا ، بەزى بۇلغانمىلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيالغا ئارىلاشتۇرۇلۇپ ، ماتېرىياللارغا كېرەكلىك ئۆتكۈزگۈچ تىپى ۋە قارشىلىق كۆرسەتكۈچى ، PN ئۇلىنىشى ، كۆمۈلۈپ قالغان قەۋەت قاتارلىقلار ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. دورا ئىشلىتىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان گاز دوپپا گازى دەپ ئاتىلىدۇ.

ئاساسلىقى ئارسىن ، فوسفىن ، فوسفور ترىفلورىد ، فوسفور پېنتافلورىد ، ئارسېن ترىفلورىد ، ئارسېن پېنتافلورىد ،boron trifluoride، دىبوران قاتارلىقلار.

ئادەتتە ، دوپپا مەنبەسى مەنبە كابىنېتتىكى توشۇغۇچى گازى (ئارگون ۋە ئازوت دېگەندەك) بىلەن ئارىلاشتۇرۇلىدۇ. ئارىلاشتۇرۇلغاندىن كېيىن ، گاز ئېقىمى ئۇدا دىففۇز ئوچاققا ئوكۇل قىلىنىدۇ ۋە ۋافېرنى ئوراپ تۇرىدۇ ، دوپپىلارنى ۋافېرنىڭ يۈزىگە قويىدۇ ، ئاندىن كرېمنىي بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، كرېمنىيغا يۆتكىلىدىغان دوپپا مېتال ھاسىل قىلىدۇ.

Etchingگاز ئارىلاشمىسى

Etching بولسا بىر تەرەپ قىلىش يۈزىنى (مەسىلەن مېتال پىلاستىنكا ، كرېمنىي ئوكسىد پىلىمى قاتارلىقلار) فوتوگرافلىق نىقابلاشماي تۇرۇپ ، يەر ئاستى سۈيىنى يېپىش ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا فوتوئورگانىك نىقاب بىلەن بۇ يەرنى ساقلاپ قېلىش ، شۇڭا يەر ئاستى يۈزىدە لازىملىق تەسۋىر ھاسىل قىلىش ئەندىزىسىگە ئېرىشىش.

قىرىش ئۇسۇللىرى ھۆل خىمىيىلىك چىرىش ۋە قۇرۇق خىمىيىلىك قىچىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. قۇرۇق خىمىيىلىك يېپىشتۇرۇشتا ئىشلىتىلىدىغان گاز قىچىشىش گازى دەپ ئاتىلىدۇ.

ئېزىش گازى ئادەتتە فتور گازى (halide) بولىدۇكاربون تېترافلورىد.