EpitaXial (ئۆسۈش)Mixed gas

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسىپتىدە, گاز خىمىيىلىك ھور ئامورنىڭ ئامال ئاممىسىنىڭ ئامال ھۈماتلىقىدىكى خىمىيىلىك ھور مەھسۇلاتنىڭ بىر ياكى بىر-بىر قەۋىخانىسىنى ئۆستۈردى.

كۆپ ئىشلىتىلىدىغان كىرىمنىسى ئېپايساردلىق گازلىرى دىچلو باغچىسى, سىلكىون تېمىچى ۋەsillane. ئاساسلىقى EPSTAXICON Preicon Emericons, SilicIne Exidest فىلىمنىڭ فىلىمى, كاسرىيون يىپرىتنى فىلىم ئامانەت قويىدۇ, Amorphous CreardStims Suitlex نى بىر قېتىم خىرۇستال ماتېرىيالنىڭ ئاستى تەرىپىگە قويۇلغان جەريان.

خىمىيىلىك ھور ئامبار (CVD) ئارىلاشما گاز

CVD تەبىئىي تىپتىكى ئاممانىڭ تەبىئىي ئامبىرى ئارقىلىق گاز ۋە كەڭات يەتكۈزۈش ئۇسۇلى, يەنى, يەنى تەبىئىي گاز باسقۇچىدىكى بىر قاراش »ئۇسۇلىنى قوللىنىلىدۇ. فىلىم مىسال كەلتۈرۈلگەن, خىمىيىلىك ھور زەيئىتى (CVD) تەبىئىي گازمۇ ئوخشىمايدۇ.

Doutئارىلاشما گاز

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنى ياساپ قېلىپلاشقان, بەزىلەرنىڭ پورتلاش ئۈسكۈنىلىرى ۋە توپلاشتۇرۇلغان ۋاقىت قاپلاش ماتېرىياللىرى ئورنىتىلغان, ھۇجۇم جەريانىدا ئىشلىتىلگەن گازنىڭ مۇداپىئە جەريانىدا خامسور, تاپتى.

ئاساسلىقى قورشۇپلار, فوسفار بۇرجەكلىك, فوسفور پارچىسى, فوسفور ھەشەمەتلىك, ئارسېن قالايمىقان يولۋاسار, ئارسېن مۇراتاراشىشboron trifluoride, dibane قاتارلىقلار قاتارلىقلار.

ئادەتتە, دورا مەنبەسى توشۇغۇچى گازى (مەسىلەن ئارگون ۋە ئازوت قاتارلىقلار) مەنبە كابىنېتقا ئوخشاش توشۇغۇچىغا ئارىلاشتۇرۇلغان. ئارىلاشتۇرۇلغاندىن كېيىن, گاز ئېقىمى ئۈزلۈكسىز ۋە ۋىلغا ئېلىشىپ كۆرۈشۈپ, ۋاپالارنى ئوراپ, ئۇنداقتا كىرىمنىي بىلەن بولغان سانلىق مەلۇماتلارنى ھاسىل قىلىدۇ.

Etchingگاز ئارىلاشمىسى

يۇلتۇزلاشتۇرۇش يۈزىنى ئىگىلەش (مەسىلەن فوتولىز يەر تىزىملىكى بىلەن ساقلاش) فوتولىز ئوكسىدلىق تىپتىكى فىلىم بىلەن ساقلاش) قوشۇمچە ماتېرىياللارنىڭ ئورنىنى ساقلاپ قېلىش ئۈچۈن.

ئېخلاش ئۇسۇللىرى ھۆل خىمىيىلىك ئوكياننى ۋە قۇرۇق خىمىيىلىك دورا قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. قۇرۇق خىمىيىلىك دورا يېيىشتە ئىشلىتىلىدىغان گازلىق گاز.

گاز چىقىرىشتىكى گاز ئادەتتە فتورپېد گازى (Halide)كاربون تېمىفورفور, ئازوت غەكلىمۇن, TrafLuoethane, Hefuoretometa قاتارلىقلار قاتارلىقلار قاتارلىقلار.