ئېپىتاكسىئال (ئۆسۈش)ئارىلاش گاs

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە، ئېھتىيات بىلەن تاللانغان ئاساسقا خىمىيىلىك پار قوشۇش ئارقىلىق بىر ياكى بىردىن ئارتۇق قەۋەت ماتېرىيال ئۆستۈرۈشكە ئىشلىتىلىدىغان گاز ئېپىتاكسىيال گاز دەپ ئاتىلىدۇ.

كۆپ ئىشلىتىلىدىغان كرېمنىي ئېپىتاكسىيال گازلىرى دىخلوروسىلان، كرېمنىي تېتراخلورىد ۋەسىلانئاساسلىقى ئېپىتاكسىيەلىك كرېمنىي چۆكمىسى، كرېمنىي ئوكسىد پەردىسى چۆكمىسى، كرېمنىي نىترىد پەردىسى چۆكمىسى، قۇياش باتارېيەسى ۋە باشقا فوتورېتسېپتورلار ئۈچۈن ئامورف كرېمنىي پەردىسى چۆكمىسى قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدۇ. ئېپىتاكسىيە بىر خىل كرىستاللىق ماتېرىيالنى ئاساسىي قاتلامنىڭ يۈزىگە چۆكتۈرۈپ ئۆستۈرۈش جەريانىدۇر.

خىمىيىلىك پار چۆكمىسى (CVD) ئارىلاش گاز

CVD بولسا ئۇچۇشچان بىرىكمىلەرنى ئىشلىتىپ گاز باسقۇچىدىكى خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق مەلۇم ئېلېمېنتلار ۋە بىرىكمىلەرنى چۆكتۈرۈش ئۇسۇلى، يەنى گاز باسقۇچىدىكى خىمىيىلىك رېئاكسىيەلەرنى ئىشلىتىپ پىلاستىنكا شەكىللەندۈرۈش ئۇسۇلى. شەكىللەنگەن پىلاستىنكا تۈرىگە ئاساسەن، ئىشلىتىلگەن خىمىيىلىك پار چۆكتۈرۈش (CVD) گازىمۇ ئوخشىمايدۇ.

دوپپىڭئارىلاش گاز

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر ۋە ئىنتېگرال توك يولى ئىشلەپچىقىرىشتا، بەزى ئارىلاشمىلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارغا قوشۇلۇپ، ماتېرىياللارغا تەلەپ قىلىنىدىغان ئۆتكۈزۈشچانلىق تىپى ۋە بەلگىلىك قارشىلىق كۈچى بېرىلىدۇ، بۇنىڭ بىلەن قارشىلىقلار، PN تۇتاشتۇرۇش نۇقتىلىرى، كۆمۈلگەن قەۋەتلەر قاتارلىقلارنى ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. ئارىلاشتۇرۇش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان گاز ئارىلاشتۇرۇش گازى دەپ ئاتىلىدۇ.

ئاساسلىقى ئارسىن، فوسفىن، فوسفور ترىفتورىد، فوسفور پېنتافتورىد، ئارسېن ترىفتورىد، ئارسېن پېنتافتورىد قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.بور ترىفتورىد، دىبوران قاتارلىقلار.

ئادەتتە، قوشما مەنبەسى مەنبە ئىشكاپىدا توشۇغۇچى گاز (مەسىلەن، ئارگون ۋە ئازوت) بىلەن ئارىلاشتۇرۇلىدۇ. ئارىلاشتۇرۇلغاندىن كېيىن، گاز ئېقىمى ئۈزلۈكسىز دىففۇزىيە ئوچىقىغا قۇيۇلىدۇ ۋە ۋافېرنى ئوراپ، ۋافېرنىڭ يۈزىگە قوشما ماددىلارنى چۆكتۈرىدۇ، ئاندىن كرېمنىي بىلەن رېئاكسىيە قىلىپ، قوشما مېتاللارنى ھاسىل قىلىپ، كرېمنىيغا يۆتكىلىدۇ.

ئويۇشگاز ئارىلاشمىسى

ئويۇش دېگەنلىك، ئاساسىي قاتلامدىكى بىر تەرەپ قىلىش يۈزىنى (مەسىلەن، مېتال پەردە، كرېمنىي ئوكسىد پەردىسى قاتارلىقلار) فوتورېزىست ماسكىسى بىلەن يېپىشتۇرماي، شۇ جاينى فوتورېزىست ماسكىسى بىلەن ساقلاپ قېلىش ئارقىلىق ئاساسىي قاتلام يۈزىدە لازىملىق سۈرەت شەكلىگە ئېرىشىشنى كۆرسىتىدۇ.

ئويۇش ئۇسۇللىرى ھۆل خىمىيىلىك ئويۇش ۋە قۇرۇق خىمىيىلىك ئويۇشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. قۇرۇق خىمىيىلىك ئويۇشتا ئىشلىتىلىدىغان گاز ئويۇش گازى دەپ ئاتىلىدۇ.

ئاشلاش گازى ئادەتتە فتور گازى (خالورىد) بولىدۇ، مەسىلەنكاربون تېترافتورىد، ئازوت ترىفتورىد، ترىفتورمېتان، گېكساسفتورئېتان، پېرفتورپروپان قاتارلىقلار.