ئۇلترا يۇقىرى ساپلىق (UHP) گازلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ جان تومۇرى. مىسلى كۆرۈلمىگەن ئېھتىياج ۋە دۇنياۋى تەمىنلەش زەنجىرىدىكى ئۈزۈلۈشلەر ئۇلترا يۇقىرى بېسىملىق گازنىڭ باھاسىنى ئۆستۈرگەچكە، يېڭى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لايىھىلەش ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۇسۇللىرى بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش سەۋىيەسىنى ئاشۇرۇۋاتىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۈچۈن، UHP گازىنىڭ ساپلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ھەر قاچاندىكىدىن مۇھىم.

زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ئىنتايىن يۇقىرى ساپلىق (UHP) گازلىرى تولىمۇ مۇھىم.

UHP گازىنىڭ ئاساسلىق قوللىنىلىش دائىرىسىنىڭ بىرى ئىنېرتسىيە: UHP گازى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاپچاسلارنىڭ ئەتراپىدا قوغداش ئاتموسفېراسى ھاسىل قىلىش، شۇ ئارقىلىق ئۇلارنى ئاتموسفېرادىكى نەملىك، ئوكسىگېن ۋە باشقا بۇلغىنىشلارنىڭ زىيانلىق تەسىرىدىن قوغداش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئىنېرتسىيە گازلارنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە ئورۇندىغان نۇرغۇن خىل ۋەزىپىلىرىنىڭ بىرى. دەسلەپكى پلازما گازلىرىدىن تارتىپ، ئويۇش ۋە قىزىتىشتا ئىشلىتىلىدىغان ئاكتىپ گازلارغىچە، ئىنتايىن يۇقىرى بېسىملىق گازلار نۇرغۇن خىل مەقسەتلەردە ئىشلىتىلىدۇ ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەمىنلەش زەنجىرىدە مۇھىم.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى بەزى «يادرو» گازلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇئازوت(ئومۇمىي تازىلاش ۋە ئىنېرت گاز سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ)،ئارگون(ئويۇش ۋە چۆكمە رېئاكسىيەلىرىدە ئاساسلىق پلازما گازى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ)،گېلىي(ئالاھىدە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈش خۇسۇسىيىتىگە ئىگە ئىنېرت گاز سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ) ۋەھىدروگېن(تازىلاش، چۆكمە قىلىش، ئېپىتاكسىيە ۋە پلازما تازىلاش قاتارلىق نۇرغۇن روللارنى ئوينايدۇ).

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تېخنىكىسى تەرەققىي قىلىپ ئۆزگىرىشىگە ئەگىشىپ، ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان گازلارمۇ ئۆزگەردى. بۈگۈنكى كۈندە، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش زاۋۇتلىرى ئېسىل گازلاردىن تارتىپ كەڭ دائىرىلىك گازلارنى ئىشلىتىدۇ.كرىپتونۋەنېئونئازوت تىرىفتورىد (NF3) ۋە ۋولفرام گېكساسفتورىد (WF6) قاتارلىق ئاكتىپ تۈرلەرگە.

پاكىزلىققا بولغان ئېھتىياجنىڭ ئېشىشى

تۇنجى سودا مىكروچىپى ئىجاد قىلىنغاندىن بۇيان، دۇنيا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىقتىدارىنىڭ ھەيران قالارلىق دەرىجىدە ئېشىش سۈرئىتىگە شاھىت بولدى. ئۆتكەن بەش يىلدا، بۇ خىل ئىقتىدارنى ياخشىلاشنىڭ ئەڭ ئىشەنچلىك ئۇسۇللىرىنىڭ بىرى «چوڭ-كىچىكلىكىنى كېڭەيتىش» ئارقىلىق بولدى: مەلۇم بوشلۇققا تېخىمۇ كۆپ ترانزىستورلارنى سىغدۇرۇش ئۈچۈن، مەۋجۇت چىپ قۇرۇلمىسىنىڭ ئاساسلىق ئۆلچەملىرىنى كىچىكلىتىش. بۇنىڭدىن باشقا، يېڭى چىپ قۇرۇلمىسىنىڭ تەرەققىياتى ۋە ئەڭ ئىلغار ماتېرىياللارنىڭ ئىشلىتىلىشى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىدا سەكرەشلەرنى پەيدا قىلدى.

بۈگۈنكى كۈندە، ئەڭ يېڭى يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەرنىڭ مۇھىم ئۆلچەملىرى شۇنچە كىچىككى، ئۆلچەمنى كېڭەيتىش ئۈسكۈنە ئىقتىدارىنى ياخشىلاشنىڭ ئۈنۈملۈك ئۇسۇلى ئەمەس. ئەكسىچە، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەتقىقاتچىلىرى يېڭى ماتېرىياللار ۋە 3D چىپ ئارخىتېكتۇرىسى شەكلىدە ھەل قىلىش چارىلىرىنى ئىزدەۋاتىدۇ.

ئون يىللارچە چارچىماي قايتا لايىھىلەش بۈگۈنكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىلگىرىكى مىكروچىپلاردىن كۆپ كۈچلۈك ئىكەنلىكىنى، ئەمما ئۇلارنىڭ تېخىمۇ نازۇك ئىكەنلىكىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ. 300 مىللىمېتىرلىق ۋافتا ياساش تېخنىكىسىنىڭ بارلىققا كېلىشى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا تەلەپ قىلىنىدىغان ئارىلاشمىلارنى كونترول قىلىش سەۋىيەسىنى ئاشۇردى. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى ئەڭ كىچىك بۇلغىنىش (بولۇپمۇ ئاز ئۇچرايدىغان ياكى ئىنېرت گازلار) ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئاپەت خاراكتېرلىك بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن، شۇڭا گازنىڭ ساپلىقى ھازىر ھەر قاچاندىكىدىن مۇھىم.

ئادەتتىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش زاۋۇتى ئۈچۈن، ئىنتايىن يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز كرېمنىيدىن قالسىلا ئەڭ چوڭ ماتېرىيال چىقىمى ھېسابلىنىدۇ. بۇ چىقىملارنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچكە بولغان ئېھتىياجنىڭ يېڭى پەللىگە چىقىشىغا ئەگىشىپ ئېشىشى مۆلچەرلەنمەكتە. ياۋروپادا يۈز بەرگەن ۋەقەلەر جىددىيلەشكەن ئىنتايىن يۇقىرى بېسىملىق تەبىئىي گاز بازىرىغا قوشۇمچە قالايمىقانچىلىق ئېلىپ كەلدى. ئۇكرائىنا دۇنيادىكى ئەڭ چوڭ يۇقىرى ساپلىق ئېكسپورت قىلغۇچى دۆلەتلەرنىڭ بىرى.نېئونبەلگىلەر؛ رۇسىيەنىڭ تاجاۋۇز قىلىشى ئاز ئۇچرايدىغان گاز تەمىناتىنىڭ چەكلىنىۋاتقانلىقىدىن دېرەك بېرىدۇ. بۇ ئۆز نۆۋىتىدە باشقا ئېسىل گازلارنىڭ كەمچىل بولۇشى ۋە باھاسىنىڭ ئۆرلىشىگە سەۋەب بولدى، مەسىلەنكرىپتونۋەكسېنون.