كاربون Tetrafluoride (CF4)

تېخنىكىلىق پارامېتىرلار

كاربون تېترافلورىد CF4 خىمىيىلىك فورمۇلا بىلەن گالوگېنلانغان ھىدرو كاربون. ئۇنى گالوگېنلانغان ھىدرو كاربون ، گالوگېنلانغان مېتان ، فلورو كاربون ياكى ئانئورگانىك بىرىكمە دەپ قاراشقا بولىدۇ. كاربون تېترافلورىد رەڭسىز ۋە پۇراقسىز گاز بولۇپ ، سۇدا ئېرىمەيدۇ ، بېنزول ۋە خلوروفوردا ئېرىيدۇ. نورمال تېمپېراتۇرا ۋە بېسىم ئاستىدا مۇقىم ، كۈچلۈك ئوكسىدلىنىش ، ئاسان يانىدىغان ياكى ئاسان يانىدىغان ماتېرىياللاردىن ساقلىنىڭ. ئاسان يانىدىغان گاز ، قاچىنىڭ ئىچكى بېسىمى يۇقىرى ئىسسىققا يولۇققاندا كۈچىيىدۇ ، يېرىلىش ۋە پارتىلاش خەۋىپى بار. ئۇ خىمىيىلىك جەھەتتىن مۇقىم ۋە ئاسان يانىدىغان ئەمەس. پەقەت سۇيۇق ئاممىياك-ناترىي مېتال رېئاكتورى ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا ئىشلىيەلەيدۇ. كاربون تېترافلورىد پارنىك ئېففېكتىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان گاز. ئۇ ئىنتايىن تۇراقلىق ، ئاتموسفېرادا ئۇزاق تۇرالايدۇ ، شۇنداقلا ئىنتايىن كۈچلۈك پارنىك گازى. كاربون تېترافلورىد ھەر خىل توپلاشتۇرۇلغان توك يولىنىڭ پلازما كېسىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ. ئۇ يەنە لازېر گازى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، ھەمدە تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق توڭلاتقۇ ، ئېرىتكۈچى ، سىلىقلاش مېيى ، ئىزولياتورلۇق ماتېرىيال ۋە ئىنفىرا قىزىل نۇر تەكشۈرگۈچ ئۈچۈن سوۋۇتقۇچتا ئىشلىتىلىدۇ. ئۇ مىكرو ئېلېكترون سانائىتىدە ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان پلازما قىرىش گازى. ئۇ تېترافلوئورومېتان يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز ۋە تېترافلوئورومېتان يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز ۋە يۇقىرى ساپلىقتىكى ئوكسىگېننىڭ ئارىلاشمىسى. ئۇ كرېمنىي ، كرېمنىي تۆت ئوكسىد ، كرېمنىي نىترىد ۋە فوسفوسسىك ئەينەكتە كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ. ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرنى يەر يۈزىنى تازىلاش ، قۇياش ئېنېرگىيىسى ھۈجەيرىسى ئىشلەپچىقىرىش ، لازېر تېخنىكىسى ، تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق توڭلىتىش ، ئېقىپ تەكشۈرۈش ۋە باسما توك يولى ئىشلەپچىقىرىشتا يۇيۇش سۇيۇقلۇقى قاتارلىق نېپىز پەردە ماتېرىياللىرىنىڭ قىستۇرۇلۇشىمۇ كەڭ قوللىنىلىدۇ. توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئۈچۈن تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق توڭلاتقۇ ۋە پلازما قۇرۇتۇش تېخنىكىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ. ساقلاشنىڭ ئالدىنى ئېلىش تەدبىرلىرى: سالقىن ، شامال ئۆتۈشمەيدىغان يېقىلغۇ گاز ئامبىرىدا ساقلاڭ. ئوت ۋە ئىسسىقلىق مەنبەسىدىن يىراق تۇرۇڭ. ساقلاش تېمپېراتۇرىسى ° C 30 تىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك. ئۇنى ئاسان (ئاسان يانىدىغان) ئاسان يانىدىغان ۋە ئوكسىدلىغۇچىدىن ساقلاش ھەمدە ئارىلاشما ساقلاشتىن ساقلىنىش كېرەك. ساقلاش رايونىغا ئېقىپ كەتكەن جىددىي قۇتقۇزۇش ئۈسكۈنىلىرى ئورنىتىش كېرەك.

ئىلتىماس:

① توڭلاتقۇ:

Tetrafluoromethane بەزىدە تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق توڭلاتقۇ سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ.

Etching:

ئۇ ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىنىڭ مىكرو زاۋۇتىدا يالغۇز ياكى ئوكسىگېن بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ كرېمنىي ، كرېمنىي تۆت ئوكسىد ۋە كرېمنىي نىترىدنىڭ پلازما ئېلېمېنتى سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ.

نورمال ئورالما:

ئارتۇقچىلىقى:

Igh يۇقىرى ساپلىق ، ئەڭ يېڭى ئەسلىھە

گۇۋاھنامە ئىشلەپچىقارغۇچى

③ تېز يەتكۈزۈش

Every ھەر بىر باسقۇچتا سۈپەت كونترول قىلىش ئۈچۈن بىر قۇر ئانالىز سىستېمىسى

Sil تولدۇرۇشتىن بۇرۇن سىلىندىرنى بىر تەرەپ قىلىشتىكى يۇقىرى تەلەپ ۋە ئىنچىكە جەريان